电子迁移率检测器(Electron Mobility Detector,简称EMD)是一种用于检测材料中载流子迁移率的仪器。它可以测量材料中电子和空穴在外加电场下的迁移速率,进而计算出载流子的迁移率。
1.什么是电子迁移率检测器
电子迁移率检测器是一种基于外加电场加速电子和空穴运动,以测量材料中电子和空穴的迁移速率从而刻画其载流子迁移率的仪器。EMD广泛应用于材料科学、半导体物理学、电子学等领域,可以用来研究材料的电学特性,并优化材料性能。
2.电子迁移率检测器原理
电子迁移率检测器主要由一对金属电极组成,两电极之间有微米级距离,并在电极间施加电压形成强电场。当样品处于电极之间时,样品中的载流子会被电场加速运动,通过测量电极间载流子的运行时间和距离的关系,可以计算出载流子的迁移率。
3.电子迁移率检测器作用
电子迁移率检测器可以用于快速、准确地测试固体材料的电学性能,并研究其载流子动力学行为。如:在设计半导体材料时,可以通过测量材料中的电子迁移率来判断其电子迁移效应对器件性能的影响程度。EMD也可用于半导体工业中常规批量生产中,以筛选高质量的半导体晶片。
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