光栅位移传感器(Grating Displacement Sensor),是测量线性或角度位移的一种高精度非接触式测量仪器。它通过从光栅中读取周期性结构的光信号,来测量物体相对于传感器的移动距离。
1.什么是光栅位移传感器
光栅位移传感器是一种机电一体化测量设备,利用光栅原理检测目标位移情况,具有非常高的分辨率,一般可达到微米级别,甚至更小。它可以直接安装在需要进行位移测量的部件上,且不需要与被测量对象直接接触,因此具有很好的抗干扰能力,并适用于高精度位移量测、工业在线控制等领域。
2.光栅位移传感器作用
光栅位移传感器主要用于直线位移和角度位移的测量,可以广泛应用于数控机床、半导体生产、金属加工、电子制造、医疗器械以及航空、航天等领域的高精度测量和自动化控制中。
3.光栅位移传感器原理
具体来说,光栅位移传感器采用了“光栅”原理,即利用光学栅片(如刻痕板、角斜光栅等),通过形成周期性的透明和不透明结构使得被测物体的运动产生相位变化,从而实现位移量的测量。在位移传感器中,通常通过将一个光源聚焦到一条线上并投射到一个光栅上,测量出透过光栅的光的干涉信号,再通过检测非正弦干涉信号的相对位置来计算出目标位移的大小。
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