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本期话题：
通过差异化竞争，覆盖94.9%的前道量检测设备
面对国际巨头垄断，初创公司将如何破局？
半导体前道量检测设备对良率的重要意义
幻实（主播）：欢迎大家关注芯片揭秘，我是主播幻实。本期我邀请到了一家专注于半导体前道检测与量测设备领域的公司——无锡卓海科技股份有限公司（以下简称：卓海科技），现在坐在我旁边的就是来自卓海科技的研发总监、上海研发中心总经理俞胜武。
俞胜武（嘉宾）：大家好，我是卓海科技的俞胜武，很高兴今天有机会和幻实一起交流。
幻实（主播）：俞总是我们芯片揭秘的老粉丝了，我想问一下，您是什么时候关注到我们芯片揭秘栏目的？是有朋友推荐吗？还是直接搜索到的？
俞胜武（嘉宾）：我应该是去年关注芯片揭秘的，就是在网上看到的，在抖音上、视频号上都刷到过。我记得你们好像还有音频节目吧？反正多个渠道都看到过你们节目。
幻实（主播）：是的，我们音频、视频、图文都有在做。那说明大数据还是有用的，它把对我们这种硬科普感兴趣的人都给推荐了，否则我觉得像您这种理工背景的人是不可能在抖音上专门搜这些东西的吧？
俞胜武（嘉宾）：是的，我也没有特意去检索，因为我时不时会关注金融、半导体领域，所以可能就是大数据推送的。
幻实（主播）：不过实话实说，您觉得关注我们这样的平台栏目，对你们的工作或者是开拓产品有没有一些助力？
俞胜武（嘉宾）：帮助是有的，因为我们确实要了解行业的一些信息，然后你们从不同的纬度，从新媒体或者是投资的角度去看这个行业，给了我们另外一个视角。
幻实（主播）：我们现在应该做了有四百多期了，您关注的时候估计是三百多期。这么多期下来，我们确实聊了非常多的产业链、环节、流程相关内容。俞总今天想给我们带来哪一个环节的分享？其实我还蛮期待的。
俞胜武（嘉宾）：好的，我也蛮想借这个机会讲讲卓海科技的创业过程以及我们新产品部门的故事。这个领域在国内真正兴起也就是最近这几年，所以大家其实还是处于一个创业的状态来做这个事情。
幻实（主播）：所以您现在还是以一种创业的心态在工作。俞总，想请您跟我们分享一下你们现在处于什么赛道？产品和技术面对什么市场？主要解决什么问题？
俞胜武（嘉宾）：我们现在所在的是半导体前道量检测设备行业。我们都知道良率是半导体行业的生命线，因为它涉及到的工艺很多。我们有个计算的公式，比如说每道制程或者说每个工艺它有99%的良率，但是经过600道工艺之后，可能最终良率就只有0.24%，接近于0了。这就说明了每个流程的良率控制对半导体产业是非常的重要的。那怎么才能做这些良率的量检测呢？这个就要讲到半导体量检测行业了。通过量测和检测，能够把每道工序的各个工艺环节以及技术参数和缺陷检测出来，这个就是我们目前所处的行业情况，它在整个半导体产业里面是非常重要的一个环节。
幻实（主播）：量检测设备其实这些年国产化率还是比较低的，而且确实还是日美韩等国在这方面优秀的公司比较多，你们选择了哪一块业务来进行开拓？
俞胜武（嘉宾）：我们量检测行业跟国外先进水平相比，差距还是非常大的。卓海科技于2009年成立，我们之前十几年一直专注于前道量检测设备的修复以及运维，从2020年开始筹建自研的新产品。所以我们目前其实是围绕着修复、运维以及自研三大板块来进行业务布局的。
通过差异化竞争，覆盖94.9%的前道量检测设备
幻实（主播）：目前你们着手三大块维度，这三大块维度的选择有什么关联性吗？
俞胜武（嘉宾）：这三大板块有很强的互补性。卓海科技主要是通过设备修复技术来进行企业积淀的，在修复的过程当中，我们积累了大量的机台的经验，量检测产品覆盖的范围也非常广，达到了前道94.9%的产品覆盖比例。通过这么多年的积累，我们对量检测行业的认知比较深，对机台的经验以及客户的痛点也比较了解，所以我们比较清楚从什么样的设备、机台入手来做自研，这对我们自研的方向来说是一个很好的支撑。除了方向上、经验上的支持，在资金以及渠道方面，也为我们自研产品提供了有力的支持。卓海科技的运营情况非常好，从2020年到2023年，我们每年的营收基本上保持着50%以上的增长，毛利率基本上可以稳定在60%。
幻实（主播）：这个毛利率听起来是非常高的。
俞胜武（嘉宾）：是的，营收情况也非常好。我们去年净利润也有一亿多，所以我们有足够的资金支撑来给我们的自研产品助力。您也知道半导体量检测行业是一个人才密集型、资金密集型的产业，所以需要大量的资金。还有就是渠道的支持，我们通过前面十多年的积累，拥有了大量的客户资源，这些客户对我们有充分的信任度，所以一旦我们的新产品出来之后，这些客户就乐意来尝试或者接受我们的新产品。总的来说，经验、资金、渠道等几个方面对我们自研新品有很大的助力。
幻实（主播）：但是自研产品的财务模型完全不同，对吧？它跟维修设备完全不在一个挑战上面，投入量会非常大，你们到目前为止花了多少心血？进展到什么程度了？
俞胜武（嘉宾）：对，我们从2020年开始筹划自研新品，2021年正式组建。目前团队也就40多人，但是我们已经布局了9款产品，包括一些核心零部件，比如说紫外固态激光器、高压电源装置等。在整机方面，我们有薄膜应力检测仪、四探针电阻测量仪、膜厚检测仪以及最近刚刚立项的缺陷检测仪、光声金属薄膜量测仪等。实际上我们也是由易到难，随着团队的发展不断地去挑战更复杂的机台，坚持循序渐进的发展路径。
幻实（主播）：您刚刚说了一些新品，我觉得方向还挺多的。我想知道这是您带队定的方向吗？
俞胜武（嘉宾）：这是我们公司内部共同决定的。首先商务部门对市场比较了解，知道客户需要什么，清楚客户的痛点；另外我们在翻修的过程当中，根据对机台的知识或者技术的了解，判断什么样的设备是适合我们目前的技术能力去挑战的。结合这几个方面，我们会有比较精准的产品方向。
幻实（主播）：您可否选择其中一个产品方向来给我们展开讲一讲，具体的这款产品你们打算用什么方式来获得国内的客户？做到了什么程度？产品的性能或者竞争力怎么样？
俞胜武（嘉宾）：比如说我们的一款四探针电阻仪，它是测方块电阻的，它对标的实际上是美国KLA公司的产品。以前在我们立项的时候，国内市场上基本上还没有人在做这个，所以我们觉得这是一个很好的产品方向。我们就直接对标RS系列的产品开始自研。
幻实（主播）：这个产品解决的问题是什么？
俞胜武（嘉宾）：它主要是用方块电阻电学检测的方式来进行膜厚的测量。
幻实（主播）：测膜厚的仪器，所以这也是前道的一个设备？
俞胜武（嘉宾）：是的，它是前道的一款重要的产品。
面对国际巨头垄断，初创公司将如何破局？
幻实（主播）：目前卖的比较好的是国外的KLA的产品，但我听说像这些海外公司现在对中国的供货不是特别友好，你们是怎么解决技术来源问题的呢？
俞胜武（嘉宾）：实际上在研发的过程中，我们发现这些机台里面有很多黑盒子，只有我们从正向的原理上去深入的理解，然后结合我们电学方面的技术积淀，比如对小信号的处理、采集以及对工艺的了解，来最终形成我们自己的解决方案。
幻实（主播）：您觉得在这个过程中挑战最大的是什么？
俞胜武（嘉宾）：挑战还是很大的。一方面是电学检测的方式的难题。在电学检测中，对那些小电流的处理、微弱信号的处理，需要非常先进的技术以及很高的操作要求；另外一方面就是对半导体工艺的理解还面临着非常大的挑战。我们也是通过好多代产品不停的迭代，最终才能够达到对标国外产品的水平。目前这款产品得到了一些Fab厂充分地验证，也有几十台的出货量级了。
幻实（主播）：你们已经有几十台的交货，这个其实可以叫做批量出货了，说明得到了客户的认可。我听起来时间不长，能在这么短的时间内取得这么快的结果，是什么原因呢？
俞胜武（嘉宾）：因为我们的研发团队还是以创业的心态来做产品的。我们的研发人员用“自驱精益”来严格要求自己，最终形成一个个精兵强将。其实每个专业领域我们可能人员配备都不多，就一、两位工程师，但是大家非常地专注来做事情。
幻实（主播）：我还有一个问题，你们三个板块之间会不会有一些对自身的发展有所限制的？卖自研产品是不是就会影响传统的业务？在这方面你们内部有什么样的战略平衡呢？
俞胜武（嘉宾）：这就有点类似于武侠世界的“左右互搏”。面对这种趋势，我们是这样考虑的：一方面，半导体量检测行业的国产化率非常低，目前只有3.6%，这意味着还有极大的拓展空间；另一方面就是“一代工艺，一代产品”，随着半导体工艺不断更新迭代，每一代工艺对应的产品也在变化，因此国内的Fab产线翻新设备的需求量还是非常大的，我们有足够的成长空间，能够维持自己翻新的业务以及运维的业务，所以我们也非常有信心。通过这样的一个时间窗口，我们的自研产品也会逐步的成长起来，所以我觉得对我们的业务来讲，这三大板块有很强的互补性。
幻实（主播）：我能感觉到俞总充满了激情。我知道您之前也是大厂出来的，投身这种初创公司，感觉角色要发生很多的变化，您能适应吗？
俞胜武（嘉宾）：我觉得也是能比较好的适应的。原先我在大厂里面学到了非常规范的企业管理以及研发流程管理经验，到一个初创的企业之后，实际上把原先大厂的这些经验跟初创公司的实际情况结合起来，就能完成很好的过渡。不过在初创公司里面，大家要非常的自驱精益，要非常高效。
幻实（主播）：当下半导体的创业环境并不是特别好，对外有国际巨头垄断，对内经过这么多年的发展，国内也已经形成了一些龙头公司，这些公司拥有比较强的侵占性。以前它们可能只是做某一个产品，但是为了支撑它的体量，现在开始进行多个行业布局。那对于初创公司来说，感觉剩余的空白点或者是机会不多了，你们团队有没有悲观或者紧迫的感觉，您怎么解读这个局面呢？
俞胜武（嘉宾）：首先我们有一个清醒的认识，就是跟国外的差距非常大。差距大一方面意味着有非常多的机会，另一方面也面临非常大的挑战。国内半导体量检测领域的友商比较多，竞争也非常激烈，所以我们要立足自身的禀赋跟特长，用我们的方式来迎接这样的挑战。前面也讲了，卓海科技有很多修复方面的经验，这个就是我们独特的优势，它能够很好地助力我们的自研，同时我们用自有资金不停的进行再投入，是一个循序渐进、由易到难的过程。
幻实（主播）：你们自己能给自己造血，对吧？不依赖那么多外部的投资或者市场的变化，所以我感觉您坐在这很淡定。
俞胜武（嘉宾）：对，我们还是采用稳扎稳打的方式来做研发，所以相对来说没有那么焦虑。
幻实（主播）：这也是一个很好的方式，这条路大家注定会走得很慢，所以企业不要急于求成，确保今天能好好活着，朝着明天的梦想慢慢去走就行了。
俞胜武（嘉宾）：半导体量检测领域是一个长赛道，我们现在跟国外先进水平的差距还是非常大的。举个例子，比如说无图案晶圆缺陷检测设备，KLA目前已经到了SP7，可应用于5纳米制程，而据我了解国内现在还停留在SP3的水平，最多也就达到30多纳米制程，所以差距非常大，我们还有非常大的成长空间。我想在这个过程当中，对每一个从事国内半导体量检测领域的企业来讲都是机会，只不过看谁能把它做好。
幻实（主播）：这是一个系统性的问题，在光刻技术没有那么先进的情况下，对检测的需求也不可能诱发出来，这是相辅相成的，所以我们要面对的挑战还是很多的。最后我想问问，您有没有想借助我们的平台对外号召或呼吁的？
俞胜武（嘉宾）：首先，我希望国内的厂商，大家能够专注做好自己的事情，共同补齐国内的短板。第二，希望大家形成良性的竞争。据我所知，目前有一些企业乱刷投资人的钱来打价格战，这扰乱了整个市场的正常价格体系。在这样的长赛道里，还是要看谁能活得长、活得好，为了长远发展还是鼓励大家去形成良性的竞争。第三，我也呼吁更多的优秀人才能够加入我们半导体量检测行业，能够加入卓海科技。
幻实（主播）：俞总讲得非常对，企业如果随便刷投资人的钱，这一笔刷完了，下一笔其实未必会来。只有把自己的现金流管控好，这个公司才会安全。确实做企业不容易，创业不容易。期待看到俞总和您的团队在这么难的赛道里冲出不一样的公司，也祝你们发展得越来越好。
随着我国成熟制程产线的快速建设，下游对成熟制程前道量检测设备需求呈现持续增长，但在国际龙头原厂设备及国产设备供应不足的背景下，修复设备成为我国产线迭代过程中成熟制程设备的重要来源，市场规模快速增长。根据沙利文数据，2021年至2025年，中国大陆前道量检测修复设备市场规模仍将实现快速增长，预计到2025年，将达到82.1亿元，年复合增长率达到 28.09%。
前道量检测设备能够对晶圆制造过程中的各个环节进行精确检测和测量，及时发现光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺中可能出现的缺陷和偏差，如颗粒污染、表面划伤、薄膜厚度不均匀等问题，从而保证芯片的质量和性能，提高芯片的良品率。随着芯片制程不断向更小的纳米尺度演进，对量检测设备的精度和分辨率要求越来越高。光学检测技术是目前主要的检测技术，但存在分辨率瓶颈，而电子束检测技术能够显著提升分辨率，多电子束方案还能够提升检测速度，满足先进制程对高精度、高速度检测的需求，是先进制程发展的关键助力之一。
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