超声波扫描显微镜SAM有什么作用？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：在晶圆厂中很少见到超声波扫描显微镜，但是在封测厂中会经常用到，麻烦讲一下超声波扫描显微镜的原理与用途

什么是超声波扫描显微镜？

超声波扫描显微镜，英文名scanning acoustic microscope，常缩写为SAM。是一种利用超声波进行的非破坏性检测的显微镜。SAM以水为介质，传输超声波，当超声波遇到不同密度的界面（如空隙、裂纹或分层），反射回来的超声波信号，会被转换回电信号，经过处理后形成材料内部的声学图像。

超声波扫描显微镜的用途？

在封装结束后，芯片被环氧树脂牢牢包裹。为了快速，无损，经济地找到失效原因，即可考虑使用SAM。超声波能够穿透大多数的材质，无需破坏材料，即可直接获得封装后的芯片内部信息。

SAM可以用来检测芯片封装中的空隙、裂纹、气泡，夹杂或分层等缺陷，确保封装质量。也可以用于芯片的晶圆键合和金线键合的质量。

超声波扫描显微镜的缺点？

1，需要液体介质传输超声波。因此，在使用SAM时，需要将样品浸没在水中。

2，难以检测表面粗糙或内部含有大量气泡的样品。粗糙的表面会散射超声波，使其无法均匀进入样品内部，导致成像效果不佳；而大量气泡也会导致超声波的反射、散射，使超声波无法顺利传输，严重影响成像的质量和深度。

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