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    • 01、半导体行业准备迈入High-NA EUV时代
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近500亿元!EUV光刻机巨头挣翻了

07/19 10:50
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7月17日,全球最大的光刻设备厂商阿斯麦(ASML)公布2024年第二季度业绩。

根据数据,ASML Q2总净销售额 62.43亿欧元(约491亿元人民币),净利润为15.78亿欧元,毛利率 51.5%,第二季度净预订量为55.67亿欧元,其中25亿欧元为EUV预订额。不过相比去年同期的营收69亿欧元、净利润19.4亿欧元,ASML今年第二季度业绩不及当时水平。

图片来源:ASML官网截图

但ASML表示,第二季度的总净销售额高于预期,这主要得益于沉浸式系统销售的增加。与前几个季度一样,整体半导体库存水平继续改善,可以看到逻辑和存储客户的光刻工具利用率进一步提高。尽管市场仍存在不确定性,主要是受宏观环境的影响,但预计行业复苏将在下半年持续。

ASML总裁兼首席执行官Christophe Fouquet表示,预计2024年第三季度总净销售额在67亿欧元至73亿欧元之间,毛利率在50%至51%之间。ASML预计研发成本约为11亿欧元,销售、一般及行政费用约为2.95亿欧元,对2024年全年的展望保持不变。

Christophe Fouquet认为,“2024年是一个过渡年,将继续在产能提升和技术方面进行投资。目前,我们看到人工智能的强劲发展,推动了大部分行业的复苏和增长,领先于其他细分市场。”

01、半导体行业准备迈入High-NA EUV时代

众所周知,EUV光刻机是先进半导体生产的关键。从本质上理解,High NA EUV技术是EUV技术的进一步发展。NA代表数值孔径,表示光学系统收集和聚焦光线的能力,数值越高,聚光能力越好。通过升级将掩膜上的电路图形反射到硅晶圆上的光学系统,High NA EUV光刻技术能够大幅提高分辨率,从而有助于晶体管的进一步微缩。

业界预计,随着High-NA EUV技术的不断成熟和普及,将在2025-2026年期间迎来大规模的量产应用,并认为,半导体行业准备迈入High-NA EUV时代。

当前,全球新晶圆厂建设如火如荼,这其中必离不开EUV光刻机的运作,从大厂建厂动态来看,台积电、英特尔、三星等芯片大厂正在实行各自建厂计划,晶圆代工厂先进制程之战早已开始,预计将在2025年至2027年配备新设备。

台积电方面,据台湾地区媒体报道,2024-2025两年,台积电将接受60台EUV光刻机,预估总投资额将超新台币4000亿元(约122.7亿美元),据悉,ASML年底将向台积电交货High-NA EUV。

三星方面,三星已在ASML韩国华城新园区附近新获得了一块场地,将于明年开始建设,计划在竣工时引进“高数值孔径”设备,预计最晚会在2027年完成。

英特尔方面,该公司包揽了,ASML截至2025上半年的高数值孔径EUV(High-NA EUV)设备订单,此前英特尔已完成ASML首台High NA EUV光刻机设备组装,价值高达3.5亿欧元,英特尔计划用该款设备生产1.8nm以下的先进制程芯片。

从这个时间点来看,ASML此前预计到2025年产能目标将达到90台EUV极紫外光刻机、600台DUV深紫外光刻机、20台High-NA EUV高数值孔径光刻机。

目前ASML是全球唯一掌握High-NA EUV技术的设备厂商。从产品升级性能来看,与0.33NA相比,High-NA可以使晶体管密度增加近3倍。产品进度上,在0.33NA EUV光刻机方面,ASML已交付额外的NXE:3800E系统,预计今年下半年大部分出货将是3800E系统;0.55NA High-NA EUV光刻机方面,ASML已在Q2出货第二套系统,第一套系统在客户处运行合格晶圆,第二套系统也在安装中。

在High-NA EUV之后,ASML已开始着手研究下一代Hyper-NA EUV设备,寻找合适的解决方案。据外媒EETimes 6月报导,ASML公布了下一代Hyper-NA EUV设备蓝图,目前为开发早期阶段。

ASML计划,2030年推出Hyper-NA EUV,数值孔径达0.75。相比High-NA EUV的0.55数值孔以及标准EUV的0.33数值孔径,Hyper-NA EUV精确度提高,可有更高分辨率图案化及更小晶体管特征。对ASML而言,Hyper-NA技术还能推动整体EUV平台,改善成本和交货时间。

随着先进制程的不断更迭,技术节点正向1纳米以下的埃米时代发展。ASML称,Hyper-NA是未来埃米级制程的必要设备,许多公司将采用Hyper-NA EUV,以降低多重图形化制程的风险。

IMEC图案化项目总监Kurt Ronse表示,High-NA EUV应可包括2~1.4纳米节点,再到1~0.7纳米节点,之后由Hyper-NA EUV接续。他还认为,Hyper-NA EUV是机会,成为2030年后新愿景。Hyper-NA EUV比High-NA EUV双重曝光的成本更低,也为半导体产业带来新机会。

02、全球半导体设备销售额大涨

当前,AI人工智能带动了HBM、晶圆代工、先进封装需求飞升,半导体设备也随之受益。据公开信息显示,半导体设备是用于生产各类型集成电路半导体分立器件的专用设备,主要包含前道工艺设备(晶圆制造)和后道工艺设备(封装测试)两大类。

前道工艺设备(晶圆制造)用于晶圆制造环节,设备产品包括光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备、CMP设备等;后道工艺设备(封装测试)主要用于半导体产品的封装和测试环节,以确保产品的质量和可靠性,代表产品包括划片设备、封装设备、测试设备等,晶圆切割机也包含其中,主要用于将晶圆切割成芯片,以便之后的封装和测试。

国际半导体产业协会(SEMI)最新报告指出,看好全球半导体制造设备市场,预期2024年销售总额可望年增3.4%、达1,090亿美元,创新高;明年有机会冲高至1,280亿美元,比去年底预期的1,240亿元更好。

按照地区来看,全球半导体销售如果依照地区来区分,SEMI表示,中国大陆、中国台湾地区、韩国,至2025年仍稳居设备支出前三大。其中,中国大陆区设备采购量持续增加,预测期间内可望维持领先地位,估计2024年中国大陆设备出货量将来到创纪录350亿美元,不过,2025年可能趋缓下跌。

SEMI表示,展望2025年,在先进逻辑和存储器应用需求增加带动下,晶圆厂设备销售额可望更上一层楼,增幅14.7%至1,130亿美元。

日本方面,据日本半导体制造设备协会(SEAJ)预计,2024年度日本半导体设备销售额将首破4万亿日元,年增15%,2026年度更将超5万亿日元,主要受AI普及带动的GPU和HBM需求增长所推动。

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