写这篇文章的原因有几个:最近一直在关注半导体量测检测领域,恰逢中科飞测上市,因为题材的稀缺性,市值直接冲上200多亿;另外因为近期在关注精测电子体系内的一个项目,恰好上周又和公司高管做了一个简单交流(公开的),了解一下公司业务进展;而且上周的电子测量仪器投融资论坛上,也有一家创业企业参加,发展路径跟精测电子相似,也是从泛半导体领域,开始逐步向半导体检测领域延伸……
首先谈一下国内半导体设备厂商的业务逻辑,很多都是从泛半导体到半导体演进,并非这些企业蹭半导体的风口,这个逻辑其实是符合商业规律的:
首先以显示面板、MEMS为代表的泛半导体领域,工艺上跟半导体有诸多的类似,无非镀膜去膜、光刻刻蚀等等,另外,相应的检测设备,也都是“光、机、电、算、软”一体化系统集成,设备检测原理类似,差异无非在行业特性和精度上面。
回到精测电子的业务布局,涵盖泛半导体(显示面板)、半导体、锂电池三大领域。其中,泛半导体(显示面板)营收占比最大,属于最早的主打业务,营收占比79.43%;半导体营收占比6.69%,但增速较高,同比增长34.12%。
具体到每个业务的产品品类,显示面板检测设备涵盖LCD、OLED、Mini/Micro-LED等主流技术方向,包括信号检测系统、OLED调测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动化设备等;半导体检测设备涵盖前道量测检测设备、后道ATE测试设备,包括膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、光学缺陷检测系统和自动检测设备(ATE)等;在新能源检测略(非本介绍重点)。
再科普一下前道检测和后道检测的差异,前道检测主要针对芯片制造环节(晶圆加工环节),目的是检查每一步制造工序后产品参数是否达到要求或者存在缺陷。后道测试设备,也被称为ATE测试机台,包括CP测试(测试晶圆上的裸die)和FT测试(封装完成之后成品测试),目的是检查芯片的功能、性能是否符合要求。
业务大类 | 业务小类 | 应用简介 |
前道
检测 |
无图形晶圆激光扫描检测技术 | 污染、划痕等缺陷检测,检测对象主要是硅片、衬底,利用光学系统发现表面缺陷 |
图形晶圆成像检测技术 | 电路图案缺陷检测,检测对象是加工过程中的晶圆,利用光学明场或暗场的成像方法,获取电路团,并进行分析 | |
光刻掩膜板成像检测技术 | 对掩膜板上的图案图像进行光学检测。 | |
前道
量测 |
三维形貌量测 | 宽光谱大视野的相干性测量技术,得到电路图形的高精度三维形貌 |
薄膜膜厚量测 | 镀膜厚度的均匀性测量 | |
套刻精度量测 | 不同光刻工序之间的对准,保证不同层之间电路图案对齐 | |
关键尺寸量测 | 测量晶圆电路图形的线宽、高度和侧壁角度 | |
后道
ATE |
CP测试机台 | 利用探针台对晶圆上的裸die进行测试 |
FT测试机台 | 芯片封装完成之后的功能性能测试 |
具体到产品上,更加细化,根据VLSI Research的数据,检测占比62.6%,量测占比33.5%,几种主流的量检测设备的情况如下:
序号 | 设备类型 | 销售额
(亿美元) |
占全球比例 |
1 | 纳米图形晶圆缺陷检测设备 | 18.9 | 24.7% |
2 | 掩膜版缺陷检测设备 | 8.6 | 11.3% |
3 | 电子束缺陷检测设备 | 8.2 | 10.6% |
4 | 关键尺寸量测设备 | 7.8 | 10.2% |
5 | 无图形晶圆缺陷检测设备 | 7.4 | 9.7% |
6 | 电子束关键尺寸量测设备 | 6.2 | 8.1% |
7 | 套刻精度量测设备 | 5.6 | 7.3% |
8 | 图形晶圆缺陷检测设备 | 4.8 | 6.3% |
9 | 晶圆介质薄膜量测设备 | 2.7 | 3.5% |
10 | X光量测设备 | 1.7 | 2.2% |
11 | 掩膜版关键尺寸量测设备 | 1.0 | 1.3% |
12 | 三维形貌量测设备 | 0.7 | 0.9% |
13 | 其他 | 2.9 | 3.9% |
合计 | 76.5 | 100.0% |
由于市场上对于半导体量检测设备关注度比较高,而且精测电子的产品线,在前道量检测领域,部分和中科飞测重叠,所以很多人更多关注两家企业在产品上的差异性。其实一句话概括国产行业全貌,目前国内企业规模都还偏小,没有一家能够像美国科磊一样的全覆盖,而是各有各的侧重点。
哪怕中科飞测已经5亿的规模,在国际巨头面前,也几乎可以忽略。国产替代这条路径上,差距一方面代表着落后程度,另一方面也代表着未来的市场空间,就看从积极还是消极的角度来看待这个问题了。
具体到两家的产品上,根据公开信息,中科飞测的产品涵盖了无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备(晶圆介质薄膜量测设备)和套刻精度量测设备。
精测电子的产品涵盖了膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、光学缺陷检测系统和自动检测设备(ATE)等。
所以对比一下(根据公开信息,如有疏漏,请留言修正):
设备类型 | 精测电子 | 中科飞测 |
纳米图形晶圆缺陷检测设备 | ||
掩膜版缺陷检测设备 | ||
电子束缺陷检测设备 | ✓ | |
关键尺寸量测设备 | ✓ | |
无图形晶圆缺陷检测设备 | ✓ | ✓ |
电子束关键尺寸量测设备 | ||
套刻精度量测设备 | ✓ | |
图形晶圆缺陷检测设备 | ✓ | ✓ |
晶圆薄膜量测设备 | ✓ | ✓ |
X光量测设备 | ||
掩膜版关键尺寸量测设备 | ||
三维形貌量测设备 | ✓ | |
ATE测试机台 | ✓ |
最后,update一下精测电子在半导体测试设备领域的业务进展情况:
精测电子子公司上海精测,主要聚焦半导体前道检测设备领域,致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产。上海精测膜厚产品(含独立式膜厚设备)、电子束设备已取得国内一线客户的批量订单;OCD设备获得多家一线客户的验证通过,且已取得部分订单;半导体硅片应力测量设备也取得客户订单并完成交付;上海精测半导体(上海精测控股子公司)的明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单,且已完成首台套交付;其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。截至2023年4月末,精测电子在半导体领域在手订单约8.91亿元。
精测电子子公司武汉精鸿,主要聚焦自动测试设备(ATE)领域(主要产品是存储芯片测试设备),老化(Burn-In)产品线在国内一线客户实现批量重复订单、CP(ChipProbe,晶片探测)/FT(FinalTest,最终测试,即出厂测试)产品线相关产品已取得相应订单并完成交付,目前批量订单正在积极争取中。
作者简介:步日欣
创道硬科技创始人,北京邮电大学创业导师、经管学院特聘导师、天津市集成电路行业协会顾问。电子工程本科、计算机硕士学位,具有证券从业资格、基金从业资格,先后就职于亚信咨询、中科院赛新资本、东旭金控集团等,拥有IT研发、咨询、投融资十五年以上经验,关注投资领域为半导体、智能制造、新能源等。