晶圆是集成电路器件的载体,其按照直径一般分为 4 英寸、5 英寸、6 英寸、8 英寸等规格,近年来 12 英寸逐渐开始成为国际大厂的主要技术产品。
因为晶圆尺寸越大,同一圆片上可生产切割的芯片就越多,这可以极大的降低产品成本,但同时对材料技术和生产技术的要求也更高。
近年来,中国大陆积极发展集成电路产业,而作为集成电路基础材料领域的晶圆制造也得到了国家的极大支持,且引进和自建了不少 12 英寸晶圆生产线。
8 条产线已开始量产
从各家厂商公布的具体信息来看,目前中国大陆已经有包括三星、英特尔、SK 海力士三家国际大厂和中芯国际、华力微电子、武汉新芯(已属于长江存储子公司)三家国内厂商的 8 条 12 英寸晶圆生产线开始量产。
作为全球顶级的 IDM 厂商,三星、英特尔和 SK 海力士分别在西安、大连和无锡建设 12 英寸晶圆生产产线,主要用于生产包括 3D NAND 和 DRAM 在内的存储器产品,其工艺技术水平也最为先进。
国内的中芯国际和华力微电子则主要以代工为主,产品主要集中在处理器、逻辑芯片、CMOS 图像传感器等领域。其中中芯国际在北京和上海两地共有三条 12 英寸生产线,其业绩规模也已经跻身全球晶圆代工领域前五。
此外,这两年在国内存储器领域异常红火的武汉新芯也有一条 12 英寸晶圆生产线投入运营,该产线初期由中芯国际帮助建设管理,后期已由武汉新芯独立运作,产品以 NOR Flash 存储器为主。
8 条新产线正在建设
随着市场需求的不断增长,越来越多的厂商开始在国内投资建设先进晶圆生产线。
已拥有一条 12 英寸产线的武汉新芯在 2016 年 3 月 28 日宣布将投资 240 美元建设先进的存储器生产基地,生产目前最为火热 3D NAND 和 DRAM 产品。2016 年 7 月 16 日,由紫光集团参股(二期投资)的长江存储正式成立,武汉新芯也正式成为长江存储的全资子公司。
长江存储将以武汉新芯现有的 12 英寸先进集成电路技术研发与生产制造能力为基础,继续拓展武汉新芯目前的物联网业务布局,并着力发展大规模存储器,其新的 12 英寸晶圆生产线预计在 2020 年达到 30 万片每月的生产规模。
此外,全球主要的晶圆厂也纷纷开始在中国大陆地区投资设厂。从公开的资料来看,厦门、合肥、晋江、南京、重庆、淮安等城市都纷纷引进中国台湾地区晶圆代工厂商和其他国家先进 12 英寸晶圆生产线。
其中,厦门和联电合作成立联芯集成电路制造(厦门)有限公司将聚焦 12 英寸晶圆生产,总投资 62 亿美元,主攻方向为通信、金融 IC 卡芯片代工;全球最大代工厂台积电更是在南京独资 30 亿美元建设 12 英寸产线,直接切入目前最先进的 16 纳米工艺,初期月产能预计为 2 万片;晋江和合肥则分别和中国台湾地区的联电、力晶成立晋华集成电路有限公司和晶合集成电路有限公司,产品方向主要为 LCD 驱动 IC 和 DRAM。
除了与中国台湾地区的晶圆代工大厂合作之外,重庆、江苏淮安等地分别与格罗方德和德科玛达成合作,也将升级改建或新建 12 英寸晶圆生产线。
此外,未来还有一些 12 英寸晶圆生产线在陆续规划中,比如华力计划在上海建第二条 12 英寸晶圆生产线(目前环评阶段)以及 AOS 计划在重庆兴建一条 12 英寸晶圆生产线(项目二期、2018 年后)。
自 2014 年以来,中国大陆集成电路产业蓬勃发展,在国家政策、资金以及庞大市场需求的带动下,国内集成电路制造产业的虹吸效应也在慢慢形成。
粗略统计,目前中国大陆所有已量产的 12 英寸晶圆产线产能已经超过 40 万片每月,预计这一数字在 2020 年会超过 100 万片。这一现象也表明全球集成电路制造产业已经开始向中国大陆转移。