真空传感器

真空传感器是一种用于测量低压或超高真空度的仪器设备。它可以检测气体压强，作为真空系统的重要组成部分，广泛应用于医药、电子、航空航天等领域。

1.真空传感器工作原理

真空传感器通常使用热阴极和阳极之间火花放电的原理来实现气体检测。当气体通过传感器感受器内的电场时，其会导致电离现象并触发火花放电，火花电流和气体密度成正比。

2.真空传感器的技术参数

真空传感器的主要技术参数包括灵敏度、线性度、响应时间、分辨率等。不同类型的真空传感器有着不同的技术参数，根据具体应用需求选择适合的真空传感器十分关键。

3.真空传感器分类

按照测量原理和工作方式，真空传感器可以分为：冷阴极离子化真空计、热阴极离子化真空计、热电偶真空计、毛细流体真空计等多种类型。不同的真空计详见具体说明。