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作者：畅秋
美国可能对韩国企业在华晶圆厂用先进半导体设备出口网开一面，这会对中国大陆半导体设备市场产生怎样的影响？
美国对于出口到中国大陆的高端半导体产品限制越来越严格，最新的消息是AMD和英伟达的高端GPU也被列入了清单。不止是芯片级产品，对于来自美国的高端半导体设备，中国大陆已经难以进口新产品，只能考虑其它方法和途径。
此前，美国不断加紧先进半导体设备出口到中国大陆的管制力度，初期锁定的是以中芯国际为代表的逻辑芯片晶圆代工厂，特别是用于14nm以下先进制程的半导体设备，受到严格管控。后来又扩大了限制范围，从逻辑芯片延伸到了存储芯片，据悉，美国将对华禁售制造128层3D NAND闪存所需的设备，这对于中国大陆几家“国字号”的存储芯片IDM企业来说是个不小的挑战。
不过，近期，美国似乎对设在中国大陆的一部分晶圆厂开了一道口子，准许购买美国的先进半导体设备，不过，这些晶圆厂不包括中国本土厂商。据韩国媒体报道，美国政府对中国实施的半导体设备出口管制，将豁免韩国芯片厂商，允许三星电子和SK海力士在中国大陆晶圆厂进口美国先进设备。据悉，美国商务部直接向韩国政府解释，美方针对14nm以下先进制程芯片制造设备出口管制措施，不会影响韩国芯片厂商在中国大陆的运营。
韩国成为主角
最近，美国一直在推动其与日本、韩国、中国台湾组成“芯片四方联盟”（Chip 4），日本是美国的死党，为其马首是瞻，而韩国的状况和态度越来越受到关注，相对于日本，韩国对加入Chip 4有更多顾虑，主要原因在于其对中国大陆的半导体产品出口依赖度很高，不得不考虑中国的感受及其在中国市场的巨大商业利益。
韩国约有6成半导体产品出口到中国（含香港），2021年，韩国半导体产品对中国出口金额达768亿美元。韩国工商会的数据显示，2021年，在韩国半导体产品出口总额中，有39.7%来自中国，而在2000年，这一比例仅为3.2%，可见其半导体业对中国依赖度之高，且呈现出较为快速的发展态势，未来，这一比例还将上升。除半导体外，韩国出口到中国的其它技术密集型行业产品（如精密机械和显示器）的量也在增长。
作为韩国半导体业的两大龙头企业，三星电子和SK海力士对中国大陆的依赖度很高，这两家在中国大陆的晶圆厂规模，仅次于它们在韩国本土的。这些晶圆厂主要生产NAND Flash、DRAM芯片和模组。三星电子在西安和苏州建有两座NAND Flash芯片工厂，SK海力士则在无锡、重庆和大连建有生产线。
三星电子西安NAND Flash工厂是其唯一的海外闪存厂，预计总投资为70 亿美元，但在一期项目扩建后，整体投资金额达到了108.7 亿美元。今年4月，三星电子在西安扩建的NAND Flash工厂全面投产。
三星电子西安NAND Flash第二工厂每月可加工13万片12英寸晶圆，比第一工厂每月高出1万片。这也使得三星电子在西安生产的NAND Flash产量达到了25万片/月，在目前三星电子全球NAND Flash总产量中的占比达到了40%以上，同时在全球所有NAND Flash厂商总产能中的占比也达到了10%。
基于以上巨大商业利益，韩国政府对于加入Chip 4非常谨慎。据韩联社报道，8月，韩国副总理兼企划财政部长与中国发改委主任举行了第17届韩中经济部长会议，首度就深化供应链合作达成共识，同时决定新设协调磋商机制，透过此举，韩国将确保在供应链不稳定时，保持与中国沟通。该磋商机制可预防供应链中可能出现的各种误会，而且，即使出了问题，也能够迅速投入磋商解决机制。
韩国业界及相关学者认为，加入Chip 4是不可避免的结果，参与各方可能制定相关规范，以取得行业优势，其中，美国拥有多数半导体技术，韩国半导体产线所用设备也多依赖美国、日本，若美国实施出口限制，可能从根本上影响韩国生产，同时，若失去中国市场，韩国与美国谈判筹码将更有限。
韩国半导体业与美国的联系也越来越紧密，除了依赖美国半导体设备之外，三星电子和SK海力士也在美国扩建晶圆厂。
目前，三星电子正在德克萨斯州泰勒市建造一家价值170亿美元的晶圆厂。此外，有消息称，未来20年，三星电子可能投资近2000亿美元，在美国德克萨斯州建11座新晶圆厂，其中，两家工厂可能分布在德州首府奥斯汀，其余9家可能在德州的泰勒。不过，这一消息还未得到官方证实。SK集团则计划在美国投资220亿美元，其中150亿用于半导体项目，据悉是要建设一座先进的芯片封装厂，于2023年第一季度破土动工。预计三星电子和SK集团的项目都将获得美国政府的半导体优惠政策和补贴。
不过，美国CHIPS法案禁止获得美国政府补贴的公司在中国大陆建造涉及先进半导体技术的晶圆厂，而三星电子和SK海力士都在中国设有存储芯片厂，且新扩建的产能要生产先进制程芯片。正因如此，为了让韩国更安心地加入Chip 4，美国才开了一道口子，准许韩国这两家芯片大厂购买美国的先进半导体设备，用于它们位于中国大陆新产能的扩充。
会引发连锁反应？
在购买先进半导体设备方面，美国对韩国在华晶圆厂的网开一面，对于各方都是个不错的消息。
首先，直接受益的就是三星电子和SK海力士，这两家在中国大陆的存储芯片产量非常大，且正在向先进制程工艺演进，若没有相应的先进设备，场面会非常尴尬，显然，美国也不想看到其主要盟友陷入窘境。
其次，对于美国半导体设备厂商而言，可以拓展本来就应该正常进行的先进设备生意版图。显然，对华禁售先进半导体设备不符合美国相关企业的利益，美国是半导体设备头号强国，美国设备厂商的在华利益是最多的。如果对华禁售，受损最大的是AMAT、LAM、KLA等公司。
再有，对于中国大陆地区所有晶圆厂而言，对获得先进设备有了更加乐观的预期。
另外，关于对华政策，欧洲和日本一直都跟随美国的步伐，此次，美国首先对中国大陆非本土企业晶圆厂用先进半导体设备开绿灯，客观上会起到一定的示范作用，对于欧洲和日本先进半导体设备进入中国大陆晶圆厂有了乐观的预期。
欧洲方面，荷兰光刻机巨头ASML一直想进一步提升其在中国大陆的业务水平，但近些年美国一直希望该公司不要向中国大陆出口先进光刻机，特别是EUV设备，ASML已经停止发货，在此基础上，美国希望该公司进一步限制DUV设备对华出口，这引起了ASML的不满，今年7月，该公司CEO温彼得（Peter Wennink）表示，“我认为我们需要认识到，中国大陆是半导体行业的重要参与者，尤其是在成熟制程和主流半导体领域，中国大陆是全球市场非常重要的供应商，所以我们必须小心行事。”目前，荷兰政府并未限制ASML对华出口DUV。2022年一季度，ASML有34%的营收来自中国大陆。
今年8月，日本最大的半导体设备制造商东京电子（TEL）财务部总经理 Hiroshi Kawamoto说：“中国大陆是一个非常重要的市场，占我们销售额的四分之一以上，我们认为中国大陆市场将继续增长。”他坦言，东京电子非常担心美国扩大对中国的高科技出口管制，因为中国是这家日本半导体设备巨头的关键市场。
受疫情影响，2022年第二季度，东京电子来自中国大陆的营收大幅下滑39%，在主要市场中降幅最大，不过，Hiroshi Kawamoto表示，对中国大陆的发货正在恢复，东京电子有信心在今年第三季度弥补4-6月的空缺，整个财年（2022年4月-2023年3月）的业绩预期维持不变。
可见，作为欧洲、日本最大的半导体设备厂商，ASML、东京电子在中国大陆市场的营收占比很高，且对未来发展都有很高的期待，同时，它们都对美国的对华出口限制政策感到担忧，并不希望看到目前的局面进一步恶化。此次，美国对于韩国在华晶圆厂进口先进设备的放行，对于欧洲和日本半导体设备大厂来说，无疑是个积极信号，这将更有利于在华晶圆厂获得更多、更好的先进设备，虽然不一定是中国本土企业，但就整个中国半导体市场而言，作用是正向的。
利好or利空国产先进设备研发？
近些年，由于受到美国打压，无法获得高端芯片和半导体设备，给中国大陆的电子半导体产业带来了不小冲击，同时也逼迫国产芯片和设备自立自强。
近两年，国产半导体设备利用率越来越高。据德邦证券统计，今年4月，在各家晶圆厂采购名单上，国产半导体设备中标数量为67台，中标率高达62%，十分罕见。北方华创、中微公司、屹唐、芯源微等中标设备数量居前。今年1~4月开标的401台设备中，源自中国大陆厂商的共计97台，占比达24.2%。其中，干法去胶设备国产率高达71%，刻蚀设备国产化占比超过一半。综合来看，国内厂家在刻蚀、清洗、干法去胶、涂胶显影等设备环节话语权提升，有的环节甚至成为主要设备供应商。更重要的是，内资晶圆厂对国产半导体设备认证的导入期显著缩短，以前是1~3年，现在，有的产品只需要6个月。
这就是国外对华限制的结果，逼迫国产设备快速成长，同时，本土晶圆厂也愿意给国产设备更多的试错和成长空间。不过，目前阶段，国产半导体设备大都聚集在中低端产品领域，能够实现量产的中高端设备凤毛麟角，在美国的打压和限制下，很多本土半导体设备厂商都在摩拳擦掌，在先进半导体设备研发方面不断加大投入。
然而，此次，美国对于韩国在华晶圆厂用先进设备出口网开一面，释放出的信号，对于国产半导体设备，特别是中高端设备的研发来说，会产生怎样的影响呢？美国的政策一向是有打击，有拉拢，有张也有弛，虽然此次只针对韩国在华晶圆厂，中国内资晶圆厂依然无法从美国进口先进半导体设备，但这样的口子一开，难免会在市场产生更多的运作空间，这在一定程度上对于国产中高端设备的研发而言，是有一定利空影响的，而且，如前文所述，如果今后美日欧相关限制进一步放松的话，利空影响恐怕会更多。希望本土厂商在中高端半导体设备研发方面能一直保持冲劲儿，不受这些因素干扰，早日实现中高端设备替代。
