合肥晶合集成是安徽省第一家 12 英寸晶圆制造企业,专注于集成电路晶圆代工业务,目前驱动芯片产能在全球液晶面板显示驱动芯片代工市场占有率达到 20%,在中国大陆地区液晶面板显示驱动芯片代工市场占有率达到 85%。目前公司携手客户积极推动 CMOS 图像传感器芯片的工艺制程研发,到 2021 年公司将成为安防领域 CMOS 图像传感器芯片主要代工商。
晶合集成一直致力于本土化发展,在 2017 年企业刚进入量产时就引进了第一台国产设备:北方华创的物理气相沉积系统(Al PVD–eVictor A830)。经线上验证,北方华创 PVD 各方面性能达到国际产品水准,可以实现完全替代同类美国产品,并进行稳定量产。2019 年,晶合集成再次引进北方华创 Saqua 系列 12 英寸单片清洗机,自机台 Move in 以来,双方密切配合,稳步推进产品工艺验证。双方合作研发小量换酸功能,提升药液使用寿命,降低药液成本。共同开发的纳米喷雾(Nano spray)功能,工艺颗粒去除率明显提升超过 97%,产品良率也得到显著改善,2019 年 8 月 30 日,该设备正式加入生产行列,替代日本同类产品。
晶合集成加快引入本土产品的进程,从原日本机台和美国材料的组合,转变成北方华创机台和安集材料组合,预计在产能达到 3 万片后,在 EKC(混酸工艺)领域将全部替换为北方华创的设备。
北方华创 Saqua 系列 12 英寸单片清洗机
晶合集成蔡辉嘉总经理认为,无论是降低企业生产成本,还是保持企业采购选择的多样性,推动本土产品参与竞争都是非常重要的。只要给时间、给机会,我对本土产品的未来非常有信心!本土化设备的进驻对于晶合甚至合肥的集成电路产业链发展都有着积极的推动作用,一方面,对于晶合而言,通过和北方华创的成功合作,不仅减少了物流时间、降低了生产成本,也让晶合在机台方面有了多重选择。另一方面,本土产品的品质逐步提升,透过晶合生产良率验证的实绩,本土设备企业可以拿到参与市场中自由竞争的门票,有助于帮助合肥乃至中国半导体打造健康的产业生态。