先进光刻机进场，加速粤芯半导体进程

据潇湘晨报消息，已从投资方智光电气确认粤芯半导体更先进光刻机已进场，为扩产做好准备。此外，据透露，今年年底之前，投资 65 亿的二期项目将进入设备调试，争取明年上半年实现量产。

智光电气于 2019 年 3 月曾表示，广州粤芯半导体公司采购的是荷兰 ASML 的光刻机，已于 2019 年 3 月中旬搬进粤芯半导体主厂房，目前在做量产前的最后调试准备。

粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟 IDM (irtuallDM)为营运策略的 12 英寸芯片厂，是广州第一条 12 英寸芯片生产线，也是广东省及粤港澳大湾区目前唯一进入量产的 12 英寸芯片生产平台，已列为广东省、广州市重点建设项目。

2017 年 12 月，粤芯半导体项目一期奠基，2018 年 3 月，桩施工，2018 年 10 月主体结构封顶，2019 年 3 月首批设备搬入，2019 年 6 月生产设备调试完毕开始投片，2019 年 9 月 20 日正式宣告投产。

今年 2 月 28 日，粤芯半导体二期扩产项目成功签约，二期建设将新增投资 65 亿元，专注于 65-90nm 模拟工艺平台，生产高精度数模转换芯片、高端电源管理芯片、光学传感器、车载及生物传感芯片等产品。预计到 2022 年，粤芯半导体一期、二期将共达到月产 4 万片 12 寸的产能，将进一步满足粤港澳大湾区芯片市场的需求。