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2018 年，半导体行业迎来一波 IPO 热潮，到如今这股热潮似乎仍未褪去，2019 年 1 月 8 日，中微半导体与海通证券、长江证券签署辅导协议进行上市辅导备案。国产半导体设备的翘楚——中微半导体亦在为 IPO 作准备。
美国、日本、荷兰是世界半导体制造业的三大强国，占据全球市场份额的 70%以上，只剩下不到 30%的“蛋糕”供其它企业瓜分，中微半导体即在其中。
本篇文章就来给大家介绍一下抢食蛋糕的中微半导体及其发展历程。
中微半导体能吃下多少蛋糕？
中微半导体作为国家大基金成立后投资的首个企业，如今已成为当今国内技术最领先的高端芯片设备企业。其中，中微半导体的介质刻蚀设备、硅通孔刻蚀设备、MOCVD 设备等均已成功进入海内外多家大客户供应体系，包括台积电、兆驰半导体、乾照光电、聚灿光电、德豪润达、士兰明芯、中芯国际等国内外大厂。
中微半导体通过创新驱动自主研发的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上广泛应用于 45nm 到 7nm 及更先进的加工工艺和最先进的封装工艺。
经过数十年的打磨，在全球可量产的最先进晶圆制造 7nm 生产线上，中微半导体是被验证合格、实现销售的全球五大刻蚀设备供应商之一，已发展为与泛林、应用材料、东京电子、日立 4 家美日企业工艺水平相当的国际第一梯队，一起为 7nm 芯片生产线供应刻蚀机，并进入到 5nm 工艺设备研发阶段。
去年 12 月，中微半导体自主研发的 5nm 等离子体刻蚀机通过台积电验证，将用于台积电全球首条 5nm 制程生产线，可见在刻蚀机技术方面，中微半导体已走在了世界前列。中微半导体是唯一进入台积电 7nm 制程蚀刻设备的大陆本土设备商。在此之前，作为芯片制造的关键装备之一，中微半导体打入台积电供应链始于 28nm 制程产品，并一直延续到 10nm 和 7nm 制程。
刻蚀机曾是一些发达国家的出口管制产品，随着中国突破了“卡脖子”的技术，刻蚀机近年来逐渐在出口管制名单上消失，出口限制已不复存在。
中微半导体的来时路
站在如今辉煌的节点，让我们一起倒退回 15 年前的 2004 年，曾在美国应用材料公司任职 13 年，专注于等离子体刻蚀设备的研发的尹志尧博士与三十多位在应用材料、科林等国际巨头有着 20—30 年半导体设备研发制造的经验的资深工程师一同回国创办了中微半导体，注册资本 4.81 亿元。
中微半导体是国内首家加工亚微米及纳米级大规模集成线路关键设备的公司，主要深耕于集成电路刻蚀机领域，研制出中国大陆第一台电介质刻蚀机。并一直致力于为全球集成电路和 LED 芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。
尹志尧作为中微半导体董事长兼首席执行官，据了解，其曾在美国硅谷工作长达 20 余年，长期致力于半导体芯片制造微加工设备的开发及产品管理，是几代等离子体刻蚀技术及设备的主要发明人和工业化应用的推动者。
作为芯片生产制造的重要设备，等离子刻蚀机用来按光刻机刻出的电路结构，在硅片上进行微观雕刻，刻出沟槽或接触孔的设备。在尹志尧的带领下，中微半导体很快开发出第一台国产的生产半导体芯片的设备——等离子体刻蚀机。
在当时，世界上最先进的芯片生产线是 90 纳米制程，但中微半导体从创立之初，就开展精度更高的纳米刻蚀机研发。它先推出了 65nm 等离子介质刻蚀机产品，随着技术的进步发展，陆续将产品制程从 45nm 逐渐降到 32nm、28nm、16nm 一直到如今的 7nm。
目前，正在亚洲地区 50 多条国际领先的生产线上运行的中微反应台（包括介质刻蚀、TSV、MOCVD）已超过 900 个。中微半导体开发的用于 LED 和功率器件外延片生产的 MOCVD 设备不仅已在客户生产线投入量产，而且已成为在蓝光 LED 市场占有率最大的领先设备。
“革命尚未成功，同志仍需努力”
工商资料显示，中微半导体此前完成了四轮融资。2004 年 9 月，它获得天使轮投资，投资方为科投集、ADVANCED MICRO-FABRICATION EQUIPMENT INC；2016 年 12 月，中微半导体完成 A 轮融资，投资方为自贸区基金、国家集成电路产业基金、中金公司、兴橙投资、临芯投资；2018 年 2 月，它又获得 B 轮投资，投资方为四川双马、兴橙投资、临芯投资；2018 年 7 月，其 C 轮融资完成，投资方包括自贸区基金、浦东新产投、协鑫集团、国开创新资本等。
众所周知，集成电路产业是资金、技术密集型产业，尤其设备企业往往需要花费巨额的研发费用，中微半导体虽然已进行了数期融资，也获得了国家大基金的投资，但若要保持长久发展以及保障后续产品开发及规模扩张，上市无疑是其必然选择。
纵观国内半导体设备企业，长川科技、北方华创等均已登陆国内资本市场，如今中微半导体也将踏上 IPO 征程。
纵观整体而言，大陆刻蚀设备国产化率仍相对较低，在巨大的成长空间下，“革命尚未成功，同志仍需努力”也算是对中微半导体的一份期望，对国产设备厂商的一种殷实期盼。
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