“我们的使命是为最先进的制造环境提供材料和解决方案提升良率。”在 SemiCon China 期间,Entegris 亚太区全球销售副总裁李迈北先生在媒体见面会上如是说。
Entegris 是一家为半导体和其他高科技产业先进制造工艺提供增长材料和解决方案的领先供应商,在半导体及其他高科技行业的污染控制、关键材料处理与先进制程材料方面处于市场领先位置。
公司成立于 1966 年,目前在全球拥有 3500 名员工,拥有 643 项美国专利与 1320 项其他国家专利。其解决方案包括净化过滤产品、流体系统与组建、可气体输送系统、特殊化学品、处理工艺、专业涂层、优质石墨与碳化硅等。产品线众多,与其多年来的并购战略也是有关的。
Entegris 的产品组合分为半导体与非半导体两大部分,半导体部分占总收入的 77%,非半导体部分覆盖数据存储、显示、太阳能、生命科学等领域。
“我们认为摩尔定律会继续下去,半导体制造工艺也将越来越复杂,而污染可能发生在晶圆制造过程中的多个环节,进而影响良率。良率对于成本的影响甚大,制程越先进这个问题越明显,”Entegris 市场营销副总裁杨文革先生表示:“我们为这些先进的高成本效益制造业提升良率提供材料和解决方案,比如过滤和纯化方面的。”在整个 IC 晶圆制造工艺领域,其产品的覆盖情况如下。
据介绍中国占全球总营收的 10%,Entegris 目前在中国的情况是怎样的?
Entegris 进入中国始于 1992 年,在 2001 年以来,分别在上海、北京、西安设立办公地点,并设有 eVOLV 技术实验室。目前,在中国,Entegris 的产品被广泛应用于半导体、LED、显示屏等领域,中芯国际、三安光电、京东方等都是 Entegris 的客户。在中国占据市场份额最多的是气体产品,占据 80%以上。
在本次媒体见面会上,Entegris 宣布与福建博纯材料有限公司合作生产气体,借此扩展在中国的产能,缩短对中国客户的供货周期。关于这项合作,Entegris 中国区总监孙军先生表示:博纯材料制造和分销 Entegris 的特殊化学品,该协议旨在满足中国半导体行业和平板显示屏行业日益增长的需求。”这无疑是 Entegris 在中国战略扩展的一步,博纯未来将采用精确复制的制造工艺,以匹配现有的 Entegris 工艺和设备,并在制造工艺中执行相同的质量管控体系。
市场营销副总裁杨文革(左),亚太区全球销售副总裁李迈北(中),中国区总监孙军(右)
于此同时,Entegris 重点介绍了几款 Entegris 的产品:
Purasol 净化器
光刻化学制造用新型纯化平台,利用独特的定制薄膜可取出溶剂中所有的金属污染物,在此之前,尚无有效的解决方案可广泛去除金属污染,这是业界首创的。它可将金属污染物去除至亿万分之一甚至更少。
GateKeeper 气体纯化系统
新的先进气体纯化平台,采用新的纯化介质,可在各种流量下提供一流的气体纯度,纯化水平世界一流且设备占用空间更少,系统提供纯化器自动再生。其作用是可提高半导体和 LED 应用的晶圆良率。
SDS 有毒气体输送系统
为业内最安全的技术,用低于大气压的压力储存及输送气体,可确保注入的有毒气体的安全性,20 年以上无事故报告。
OLED 需求强劲,但是良率却成了一大痛点。Entegris 哪些产品可以在帮助 OLED 制造商提高良率?
孙军先生表示目前 Entegris 正在与一家比较突出的中国 OLED 制造商合作,向其提供气体纯化系统。在提升 OLED 良率方面,Entegris 的气体过滤器、气体转换器等产品都可以发挥作用。
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