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    • 三星将使用长江存储专利技术
    • 三星CoP技术在堆叠层数至400层时遇困境
    • 让巨头们绕不开的混合键合技术
    • 3D NAND未来竞争围绕亚洲诸强展开
    • 结尾:
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产业丨CoP技术遇困境,三星将使用长江存储专利技术

03/22 09:55
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作者 | 方文三

对于长江存储而言,此次向三星等顶尖存储技术企业授予专利许可,标志着中国存储产业历史上的一个里程碑。深入分析此次合作的背景,可以发现这并非仅仅是[巨头的屈服],而是一次对技术定义权进行重新分配的重要变革。

三星将使用长江存储专利技术

据韩国媒体ZDNET Korea近日报道,三星电子SK海力士等韩国存储器制造商计划将混合键合技术应用于下一代NAND存储器,该技术源自中国的长江存储公司。

据ZDNet Korea报道,三星电子近期与长江存储签订了关于3D NAND混合键合技术的专利授权协议。

三星电子计划于今年下半年启动的下一代NAND产品——V10 NAND,首次采用了混合键合技术。

此举表明,三星和SK海力士若要开发超过400层的存储器,必须获得长江存储的授权许可。

三星电子之所以与长江存储签订了混合键合技术的许可协议,是因为在技术专利方面难以绕过长江存储的专利壁垒。

三星已确认,从V10(第10代)开始,将采用中国NAND制造商长江存储的专利技术,特别是在新的先进封装技术[混合键合]方面。

三星电子亦判断,在未来V10、V11、V12等新一代NAND的研发过程中,绕开长江存储的专利几乎是不可能的,因此决定签订许可协议。]

此外,三星在开发其V11、V12等后续NAND产品时,可能仍需依赖长江存储的专利技术。

长江存储是最早将混合键合技术应用于3D NAND的企业,因此在该技术领域拥有丰富的专利积累。

对于三星而言,专利许可协议解决了其在下一代NAND开发中的核心难题,在面对SK海力士的激烈竞争时,这一突破显得尤为重要;

然而,这也带来了市场主导权丧失的风险,以及因专利使用可能导致的技术依赖等忧虑。

三星CoP技术在堆叠层数至400层时遇困境

目前,存储芯片行业主要分为NAND和DRAM两大技术路线。

在NAND技术的发展中,关键在于不断提升存储单元的堆叠层数。

当3D NAND闪存芯片的堆叠层数从300层提升至400层时,传统技术面临物理极限的挑战。

昔日,三星电子惯于在单一硅片上配置控制电路(Peripheral),继而于其上堆叠存储单元,此法被称作COP(Cell on Peripheral)。

三星早在2015年就将厂房建设至三十多层,随后十年更是迅速扩展至两百多层,速度远超其他同行。

这得益于三星的独家技术——CoP(Cell on Peripheral)技术,简而言之,就是将控制电路置于存储单元下方,并向上不断堆叠。

比喻来说,控制电路就像地基一样垫在存储单元之下,然后不断向上建造楼层。

依靠独特的绝缘技术,三星能够确保每一层存储单元与下方电路的连接,同时避免相互干扰,防止短路。

三星之前采用的COP架构将外围电路与存储单元集成在同一晶圆上,但随着层数的增加,底层电路承受的机械压力显著增大,这导致了可靠性的降低和散热问题的出现。

随着SK海力士和美光等竞争对手的层数超过400层,三星计划在当年下半年开始大规模生产第十代存储芯片V10 NAND,层数将达到420至430层的新高度。

当层数达到400多层时,存储单元底部电路的压力增大,可能会对电路造成损坏。这就像楼层越高,地基承受的压力越大。

而长江存储的Xtacking架构通过晶圆键合技术,成为突破400层堆叠的关键技术方案。

让巨头们绕不开的混合键合技术

大多数NAND闪存制造商在最初的3D NAND工艺中采用CAN方法,在后续工艺中迁移到CUA架构。

美光和Solidigm在32层3D NAND路线图之初就实施了CUA架构。

在传统3D NAND架构中,外围电路约占芯片面积的20—30%。

随着3D NAND技术堆叠层数的增加,外围电路所占芯片面积可能达到50%以上,这导致了存储密度的降低。

同时,这种方法最多可容纳300多层的NAND,否则施加于底部电路上的压力可能会对电路造成损坏。

为解决这一问题,长江存储早在2018年推出了全新的Xtacking技术,推动了高堆叠层数的3D NAND制造转向CBA(CMOS键合阵列)架构。

NAND晶圆和CMOS电路晶圆可以在不同的生产线上制造,使用各自优化的工艺节点分别生产,这不仅可以缩短生产周期,还可以降低制造复杂度和成本。

对于三星、SK海力士等传统3D NAND大厂而言,他们在传统的单片晶圆生产方面具有显著的技术优势和产能优势。

若要从传统的单片晶圆生产转向CBA架构的双片晶圆生产,无疑需要额外投资于新的洁净室空间和设备;

同时,还需面对混合键合技术带来的良率挑战,这也使得他们转向CBA架构的意愿并不强烈。

尽管SK海力士和美光分别在2020年和2022年从Xperi获得了混合键合技术的授权。

但由于转向CBA架构的迟缓,使得三星、SK海力士等大厂在面对已在CBA架构3D NAND和配套的混合键合技术上持续投入多年的长江存储时,将不可避免地面临专利方面的障碍。

长江存储在建立技术优势方面,四年前已将混合键合技术应用于3D NAND制造,并将其命名为[晶栈(Xtacking)]。

起初,长江存储通过与Xperi签署许可协议,获得了混合键合技术的原始专利,并在此基础上构建了全面的自主专利体系,目前在全球混合键合技术领域处于领先地位。

目前,长江存储自主研发的Xtacking技术已发展至4.x版本,并已开始供应其第五代3D TLC NAND闪存产品(具有294层结构,其中包含232个有源层),成为目前商用3D NAND产品中堆叠层数最多、存储密度最高的产品。

长江存储作为最早将混合键合技术应用于3D NAND的公司,在相关技术领域拥有强大的专利积累,截至目前,其专利申请总数已超过1万件。

3D NAND未来竞争围绕亚洲诸强展开

当前,全球范围内正积极展开对尖端半导体技术的争夺,其中,下一代NAND闪存领域,以其高集成度的优势,竞争尤为激烈。

作为该领域的主导者,三星电子尽管连续多年占据行业领先地位,但在技术上的优势已不再明显。

根据TrendForce的统计数据,截至去年第三季度,三星电子在全球NAND市场中以35.2%的份额位居首位。

紧随其后的是SK海力士(20.6%)、日本铠侠(15.1%)和美国美光(14.2%)。尽管长江存储在整体市场份额上尚未取得显著优势,但在技术层面正迅速缩小与韩国企业的差距。

在市场中,3D NAND闪存的最高量产层数为SK海力士的321层;三星电子量产的最高层数为286层;美光则为276层。

长江存储的量产最高层数为232层,但据今年1月的消息,长江存储已经开始出货第五代294层NAND。

此外,日本铠侠亦展现出强劲的竞争态势,目前量产的NAND为218层芯片。

近日,铠侠宣布与闪迪联合开发的第10代BiCS 3D NAND闪存,其3D堆叠层数达到了前所未有的332层。

去年八月,SK海力士公司透露,其正在研发400层堆叠的NAND闪存技术,并计划于2025年实现大规模量产。

此外,SK海力士预计将在三月完成对英特尔NAND业务的收购,此举预计将显著提升其在全球NAND市场的竞争力。

中国领先的DRAM半导体制造商长鑫存储科技正致力于追赶行业巨头三星和SK海力士。

长鑫存储正在加速推进下一代DRAM技术的研发,并且并未按照原定计划采用17nm制程技术于首款商用DDR5产品,而是直接采用了更为先进的16nm制程技术。

报告指出,在商业化技术层面,韩国仅在高密度、电阻式存储器技术以及半导体和先进封装技术方面保持领先。

然而,在整个半导体行业技术生命周期的评估中,韩国在工艺和量产方面领先,但在基础、源头和设计领域则落后于中国。

随着中国半导体产业的迅猛发展,全球半导体行业的格局将发生改变,美国、日本和韩国的垄断地位将难以维持。

结尾:

与GPU、CPU等芯片类似,存储芯片同样面临着生态挑战。

目前,存储芯片的EUV光刻机、原子层沉积设备等仍依赖ASML、应用材料等国际供应商,在大环境不确定的背景下,国产厂商依然面临挑战。

同时,海外厂商通过[技术联盟+价格战]的策略也在冲击着国产厂商的市场份额。

未来存储芯片市场将演变为专利、产能、生态的全面竞争。

部分资料参考:财经:《韩媒称三星、SK海力士将使用长江存储专利技术,国产存储芯片替代提速》,卓乎:《三星将使用长江存储技术,用于下一代NAND》,心智观察所:《求救长江存储,三星着急了》,电手:《三星使用长江存储专利!韩专家:半导体快全面落后中国》,观网财经:《历史一幕!长江存储向三星授权关键技术专利》,酷玩实验室:《三星向长江存储[交学费]:一场[倒反天罡]的大戏》

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