现在行业内外一聊到半导体行业都会提及光刻机。全球三大光刻机供应商:ASML、NIKON、CANON在过去几十年里推出了上百种各类型号、不同技术指标和功能的光刻设备。即便是行业内的专业人士也无法完全背诵出来所以我也一直在花时间收集整理这些数据。
今天整理一个简易版(省略部分过于专业的参数指标)的光刻机型号汇总,供大家参考完整数据的原始EXCEL表格文件,我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣,欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有加入方式
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