知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:在PVD镀膜中,可以看到工艺腔室中发出各种颜色的光,请问原理是什么?
什么是等离子体?
等离子体,英文名称plasma,是物质的第四态,其他三态有固态,液态,气态。在半导体领域一般是气体被电离后的状态,又被称为‘电浆’,具有带电性和流动性的特点。
等离子体的组成?
1,电子:等离子体中通常包含大量自由电子,自由电子是等离子体的主要组成部分,能够引发气体的电离。2,离子:等离子体中存在正离子和负离子,例如Ar气在电子轰击下会失去一个电子,形成Ar+^+,Cl2_22分子通过获得电子形成Cl−^-。3,自由基:自由基是等离子体中化学活性很高的中性粒子,自由基可以与材料表面发生化学反应,用于清洗、刻蚀等工艺。
4,光子:体现在我们看到的不同颜色的光线。5,中性粒子:指的是未电离的气体分子,它们在等离子体中不会受到电场的直接作用。中性粒子可以与其他自由基或离子发生碰撞,并参与化学反应,
等离子体为什么会发光?
高能电子与气体分子发生碰撞时,会将一部分能量传递给原子,使其内部的电子跃迁到更高能级的激发态。激发态的分子会在极短的时间内回到较低的能级。在返回的过程中,它们会释放出多余的能量。这种能量释放是以光子的形式发出,这些光子具有特定的波长,因此具有特定的颜色。
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