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PECVD的喷淋头有什么作用?

11/01 16:39
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知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:PECVD中的shower head有什么作用?

shower head是什么东西?

如上图,Showerhead,又可翻译为喷淋头,花洒等,Showerhead通常紧贴反应区的上部,并作为气体入口,将反应气体通过其表面的小孔均匀地注入到腔体内。当然并不是仅仅只有气体分布的功能,有的设计好可以用来充当电极的一部分。

shower head的作用?

shower head表面布满了密密麻麻的小孔,反应气体流入后,会被均匀地分成若干份,并以一致的流速传输到晶圆上方,使反应气体均匀覆盖整个晶圆表面,以便生成更均匀的镀层。当Showerhead作为电极的一部分时,射频电源在其表面产生均匀的电场,能够形成均匀的等离子体

一般用什么金属来做shower head?

最常见的是铝金属,因为其具有较高的热导率及抗腐蚀能力。也可以用石英或陶瓷来做shower head。

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