加入星计划,您可以享受以下权益:

  • 创作内容快速变现
  • 行业影响力扩散
  • 作品版权保护
  • 300W+ 专业用户
  • 1.5W+ 优质创作者
  • 5000+ 长期合作伙伴
立即加入
  • 正文
  • 相关推荐
  • 电子产业图谱
申请入驻 产业图谱

PECVD的喷淋头有什么作用?

11/01 16:39
691
阅读需 2 分钟
加入交流群
扫码加入
获取工程师必备礼包
参与热点资讯讨论

知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:PECVD中的shower head有什么作用?

shower head是什么东西?

如上图,Showerhead,又可翻译为喷淋头,花洒等,Showerhead通常紧贴反应区的上部,并作为气体入口,将反应气体通过其表面的小孔均匀地注入到腔体内。当然并不是仅仅只有气体分布的功能,有的设计好可以用来充当电极的一部分。

shower head的作用?

shower head表面布满了密密麻麻的小孔,反应气体流入后,会被均匀地分成若干份,并以一致的流速传输到晶圆上方,使反应气体均匀覆盖整个晶圆表面,以便生成更均匀的镀层。当Showerhead作为电极的一部分时,射频电源在其表面产生均匀的电场,能够形成均匀的等离子体

一般用什么金属来做shower head?

最常见的是铝金属,因为其具有较高的热导率及抗腐蚀能力。也可以用石英或陶瓷来做shower head。

为了便于大家交流与学习,Tom组建了一些免费的半导体行业技术交流群,适合工艺,设备,厂务,投资,采购的相关朋友,大家有兴趣加入的可以加Tom微信,Tom统一拉进群。

相关推荐

电子产业图谱