介绍一款光刻增粘剂-Ti Prime

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：在做光刻时，光刻胶很容易脱落，有什么好的改进措施吗？

为什么光刻胶会脱落？

脱落主要是因为光刻胶与晶圆的粘附性不佳，而导致粘附性不佳的原因有很多，比如晶圆的材质原因，晶圆表面过于光滑，晶圆表面残留水分，光刻胶过厚内应力过大等。这个时候，在晶圆表面增加一个增粘步骤是很有必要的。

什么材质的晶圆需要增粘剂？

硅衬底与光刻胶的粘附性较好，而氧化硅，蓝宝石，砷化镓，Au，Pt等与光刻胶的粘附性较差。以氧化硅为例，氧化硅容易吸水，具有亲水性，它与于非极性的光刻胶结合力很差，需要进行增粘处理。

Ti Prime是什么？

一种有机钛化合物增粘剂，正式匀胶前先旋涂Ti Prime，再进行烘烤，其将以亚单层的状态吸附在晶圆表面。可有效改善光刻胶在硅或玻璃等基材上的附着力。

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