PMMA是光刻胶吗？

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：PMMA是电子束光刻中用的材料，具有光敏性吗，算光刻胶吗？

什么是PMMA？

PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）是最常见的正性电子束光刻胶之一。虽然是电子束光刻胶，但是本身不具有光敏性，它是一种聚合物。未加工状态是固体粉末，可以溶解在氯苯、二氯甲烷中，形成液态的可旋涂的物质。

什么是电子束光刻？

电子束光刻（EBL）是一种无掩模光刻技术，与传统的UV，DUV,EUV光刻不同，电子束光刻利用波长更短的电子束来进行曝光，分辨率可达<10nm。但是曝光速率极低，不适合量产使用。

PMMA具有光敏性吗？

PMMA不是光敏材料，它不会对紫外线（UV）光产生反应。它是一种电子束敏感抗蚀剂，当电子束照射到PMMA时，它会断裂聚合物链，使曝光的区域更容易在显影液。

电子束光刻显影液与UV光刻显影液的区别？

电子束光刻的显影液一般为有机溶剂，如甲基异丁基酮（MIBK）、异丙醇（IPA）等。UV光刻的显影液一般为水碱性溶液，如四甲基氢氧化铵（TMAH）。

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