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在晶圆制造工艺中，有许多专业术语涉及到不同的设备、步骤和过程。以下是对这些术语的通俗易懂解释：
Process Flow（工艺流程）：指整个晶圆制造过程中每个工艺步骤的顺序。它是确保每个工艺按计划依次进行的蓝图。比如从光刻、刻蚀到薄膜沉积，每一步都有明确的安排。
Track：指的是光刻中的涂胶显影机，主要用于将光刻胶涂覆在晶圆表面，并在曝光后进行显影处理。光刻是一个非常重要的工艺步骤，track设备起到了基础作用。
Bake（烘烤）：烘烤过程通常用于光刻胶固化，防止后续工艺过程中图形变形。Bake可以分为旋涂后烘烤（Soft Bake）和显影后烘烤（Hard Bake），帮助晶圆表面的光刻胶在不同步骤中保持稳定。
Pump（真空泵）：设备中的真空系统，用于去除腔体内的气体，确保工艺环境达到超低压状态，像在刻蚀和沉积工艺中都需要使用Pump来维持理想的真空条件。
Pattern（图形）：指晶圆上通过光刻工艺形成的芯片图案。每个芯片的功能都与这些图形密切相关，它们决定了电路的形状和布局。
Inline CD（在线特征尺寸测量）：指在晶圆制造过程中的某个步骤对特征尺寸（Critical Dimension, CD）进行在线实时测量。特征尺寸指的是电路中最小的线宽或间距，精确的CD控制对于芯片的性能至关重要。
Oven（烘箱）：用来对晶圆进行高温处理的设备，通常用于固化光刻胶或在某些沉积工艺中稳定材料的性能。
Rate（速率）：指某个工艺过程的速度，比如沉积速率或刻蚀速率，通常以纳米/分钟（nm/min）为单位，用来表征工艺的效率。
Stress（应力）：在沉积、刻蚀等工艺过程中，薄膜材料在冷却或沉积后会产生应力，过大的应力可能导致材料变形或晶圆破裂，因此需要控制。
Adhesive（粘合剂）：用来将不同材料牢固粘接在一起的物质。在晶圆制造中，粘合剂可能用于将薄膜材料与晶圆表面粘接，确保稳定性。
Uptime（正常运行时间）：指的是设备处于正常工作状态的时间，也就是设备能用来生产的时间。我们希望设备的uptime尽可能高，因为这意味着设备没有停机问题，生产效率高。应用场景：比如，你可能会听到“这台机台的uptime很高”，意思就是这台设备几乎没怎么停机，运转很好。
Pilot Run（小批量试生产）：是指在大规模生产之前，先做一个小批量的试生产。这是为了验证工艺流程和设备状态是否都能满足要求，确保大规模生产时不会出现问题。应用场景：在一个新的工艺或产品开始之前，通常会进行pilot run来检测生产中的可能问题。
Cycle Time（生产周期）：指的是从一片晶圆开始处理到最终完成一轮加工所需要的时间。它是衡量生产效率的一个重要指标，生产周期越短，说明设备和流程的效率越高。应用场景：在讨论生产效率时，通常会说“要缩短cycle time”，也就是希望能加快整个生产过程的速度。
Inline 监控（在线监控）：是指在生产过程中对晶圆进行实时检测和监控，确保每个工艺步骤都符合要求。通过这个监控，可以及时发现问题，避免生产出有缺陷的晶圆。应用场景：工程师可能会说“这步工艺的inline监控数据不对”，意思是检测过程中发现了异常，可能需要停下来检查设备或工艺设置。
PM（Preventive Maintenance，预防性维护）：指的是定期对设备进行维护，以防止设备故障。比如“这台设备需要做PM”意思是该设备需要进行维护了。
Out Spec（超出规格）：表示某个参数或质量超出了规定的范围，意味着这片晶圆可能存在问题。常见的用法是“这片晶圆out spec了”，也就是这片晶圆质量不达标。
Yield（良率）：指的是生产中合格产品的比例。良率越高，代表生产过程中产生的废品越少，整体生产效率越高。
Wafer Notch（晶圆缺口）：晶圆边缘的小缺口，用于设备自动对准晶圆的方位。
Recipe（工艺配方）：指的是设备执行某个工艺步骤时的具体参数设置，包括温度、时间等。
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作者：胡工，北京大学微电子本硕，北京大学半导体校友会成员，在半导体行业工作多年，常驻深圳。欢迎交流，备注姓名+公司+岗位。
