3.35英寸！宁波晶钻同质外延单晶金刚石再次突破

近日，在宁波晶钻科技股份有限公司的金刚石产业园内，一颗颗CVD大单晶金刚石如期上线。其中，一颗60 mm × 60 mm的单晶金刚石片映入眼帘。

据了解，该金刚石片采用的是同质外延生长技术，这不是晶钻科技的首次突破！

作为根植于宁波的民营企业，晶钻科技自2014年制备出第一颗CVD单晶金刚石以来，历经10余次技术迭代，已量产2英寸CVD单晶金刚石。2023年底，成功制备出3英寸CVD单晶金刚石，目前也已稳定批量化生产。如今产品再次升级，尺寸突破3.35英寸，并正在向4英寸以上单晶金刚石制备发起冲刺。

晶钻科技产品发布时间线

微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）作为行业公认的制备大尺寸、高品质单晶金刚石的最佳手段。目前主要有两种技术路线：同质外延、异质外延。相比于异质外延生长，同质外延技术的优势在于其晶体质量高，内应力和位错密度低，同时能生长出较大的籽晶原料，从而提高面积增加效率，但技术也极具挑战性。

一直以来，晶钻科技走的是同质外延生长路线。60 mm × 60 mm的尺寸，换算成半导体行业晶圆常用单位，大约3.35英寸。这也是晶钻科技首次对外报道。

“加快形成新质生产力，就是要加快实现‘0到1’的颠覆性创新及‘1到100’的稳定性提升”。张军安董事长说道，“目前，我们的生产设备历经多轮升级迭代已扩充到1500台，这意味着，我们的大尺寸、高品质CVD单晶金刚石年产能已达200万克拉，跃居世界前列。”

目前晶钻科技已经形成了完整的金刚石材料、相关装备与应用等产业布局和标准化生产能力。其生产的CVD单晶金刚石的杂质含量< 10 ppb，表面粗糙度< 1 nm，能可控进行氮、硼元素掺杂，为金刚石材料的功能化应用夯实更加稳固基础。

从创新链的好技术到产业链的新应用，这是条漫长且艰难的道路。“长材料”仅仅是一个开始。

晶钻科技产能已具备，下一步就是加快与产业链上下游的创新联动。

张军安董事长介绍，“晶钻科技正加紧与相关企业和科研院所联合攻关开发。”

“晶钻科技要做的就是在完成产品、生长设备、工艺装备、加工装备及检验检测装备的自主创新后，紧紧围绕行业需求，持续创新与迭代，最终通过向下延伸、拓展应用，站在金刚石行业发展的最前沿。”

目前，晶钻科技高水平研发中心已从设计蓝图变为现实，其占地123亩，首期投资10亿元、建筑面积超80000㎡的现代化金刚石产业园已投入使用，这为企业实现科技成果转化增强了信心。

“国内第一家专业从事CVD单晶金刚石工业化生产的企业”、“第一台自主知识产权的MPCVD单晶金刚石生长设备”；“第一条自主知识产权的CVD大单晶金刚石工业化生产线”…… 这些已成为宁波晶钻科技股份有限公司的第一印象标签。未来，这条创新之路将会持续。