知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:ASML的光刻机有哪些型号,最近要做相关的报告,麻烦帮忙总结下。ASML,全名 ASML Holding NV,荷兰跨国公司,成立于 1984 年。是半导体行业最大的设备供应商,也是全球唯一一家生产极紫外光刻机(EUV) 的厂商。
ASML的光刻机经历了几个阶段:
PAS 2000:首次引入自动步进对准技术。
PAS 5000:提高分辨率和叠层精度。
PAS 5500,1991年发布:实现扫描式光刻,提升生产效率。
Twinscan XT,NXT :双工作台技术,显著提高WPH。
Twinscan NXE EUV,2013年推出:采用极紫外光刻(EUV),支持亚20 nm制程节点。
根据型号不同我单独做了一个表格:
由于工作量巨大,只上传了G线,i线系列,下一期会将Twinscan中常见的ArF浸没式,EUV光刻机罗列出来。
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