加入星计划,您可以享受以下权益:

  • 创作内容快速变现
  • 行业影响力扩散
  • 作品版权保护
  • 300W+ 专业用户
  • 1.5W+ 优质创作者
  • 5000+ 长期合作伙伴
立即加入
  • 正文
  • 推荐器件
  • 相关推荐
  • 电子产业图谱
申请入驻 产业图谱

ASML的光刻机型号汇总(上)

07/25 10:45
4721
阅读需 2 分钟
加入交流群
扫码加入
获取工程师必备礼包
参与热点资讯讨论

知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:ASML的光刻机有哪些型号,最近要做相关的报告,麻烦帮忙总结下。ASML,全名 ASML Holding NV,荷兰跨国公司,成立于 1984 年。是半导体行业最大的设备供应商,也是全球唯一一家生产极紫外光刻机(EUV) 的厂商。

ASML的光刻机经历了几个阶段:

PAS 2000:首次引入自动步进对准技术。

PAS 5000:提高分辨率和叠层精度。

PAS 5500,1991年发布:实现扫描式光刻,提升生产效率。

Twinscan XT,NXT :双工作台技术,显著提高WPH。

Twinscan NXE EUV,2013年推出:采用极紫外光刻(EUV),支持亚20 nm制程节点。

根据型号不同我单独做了一个表格:

由于工作量巨大,只上传了G线,i线系列,下一期会将Twinscan中常见的ArF浸没式,EUV光刻机罗列出来。

欢迎加入我的半导体制造知识星球社区,目前社区有1900人左右。在这里会针对学员问题答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升半导体制造能力,介绍如下:     《欢迎加入作者的芯片知识社区!》

推荐器件

更多器件
器件型号 数量 器件厂商 器件描述 数据手册 ECAD模型 风险等级 参考价格 更多信息
NC7WZ17P6X 1 onsemi TinyLogic UHS Dual Buffer with Schmitt Trigger Inputs, 3000-REEL

ECAD模型

下载ECAD模型
$0.12 查看
74HC245D 1 Nexperia Bus Transceiver

ECAD模型

下载ECAD模型
$1.25 查看
M74VHC1GT126DF1G 1 onsemi Single Non-Inverting Buffer, TTL Level, SC-88A (SC-70-5 / SOT-353), 3000-REEL

ECAD模型

下载ECAD模型
$0.12 查看

相关推荐

电子产业图谱