为湾区强“芯”！广东微纳院半导体微纳加工中试平台正式通线

7月11日，凝聚“芯”动能，共筑“芯”高地——广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在佛山南海举行。会上，广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线，二期产业孵化区正式封顶，一批半导体项目现场签约，为湾区半导体产业发展注入“芯”动能。

中国科学院苏州纳米所党委书记邓强，广东省科技厅二级巡视员夏奇峰，佛山市副市长陈新文，南海区委副书记、区长王勇，佛山高新区党工委副书记、管委会主任胡学骏及市区相关部门，合作高校、院所、企业代表超180人参会。

图 活动现场

中试平台通线，一批项目签约

为湾区半导体产业发展注入“芯”动能

广东微纳院是由佛山市、南海区两级政府共同建设，中国科学院苏州纳米所支持的广东省省属事业单位，建设半导体材料外延生长、芯片加工、封装测试等全链条中试平台，为佛山市半导体产业强链延链、大湾区“芯”动能高质量发展提供技术平台支撑。

图 广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线仪式

据介绍，平台具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力，2-8吋氮化镓基材料外延生长能力，其中晶圆加工产能为8吋5000片/月，材料外延生长总产能为4吋4000片/月。活动当天，广东微纳院与苏州敏芯微电子技术股份有限公司、科大讯飞股份有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等12家企业、科研院所签订中试合作协议。

“希望广东微纳院继续加强科研攻关和中试平台工艺能力建设，努力实现引领性原创性技术突破，加快重大科技成果高效转化和迭代应用，探索建立科技创新和产业创新互促互强的半导体向‘新’生态。”中国科学院苏州纳米所党委书记邓强表示。

自广东微纳院成立以来，已为百余家科研院所、高校和企业提供技术服务和人才输出，获得了业届的广泛认可，成为广东半导体产业的重要支撑平台之一。广东省科技厅二级巡视员夏奇峰表示，中试平台是连接实验室与产业界的桥梁，希望广东微纳院继续发扬创新引领精神，不断提升产业辐射策源能力，为广东省和大湾区半导体产业的蓬勃发展注入新动能。

产业园建设提速

打造半导体产业集聚强磁场

依托半导体中试平台，广东微纳院于2023年启动二期建设。二期定位为产业孵化区，建设6万㎡专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度进入试运行阶段，将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。现场举行了简单而隆重的封顶仪式，6家企业与广东微纳院签订了意向落户协议。

图 二期产业孵化区封顶仪式

会上，广东微纳院副院长王晖介绍半导体产业园规划与建设情况。

“当前广东微纳院已构建了‘一核五园多要素’平台格局，除了中试平台通线及二期项目封顶外，研究院将推进三期项目规划，持续配备更多半导体产业相关设备，引进培育一批半导体上下游产业企业，打造成半导体全链条产业服务平台。”王晖表示，在地方政府的支持规划下，围绕广东微纳院的临近地块都可以为企业落地提供支持，将有望打造形成全广东省乃至华南地区最适合发展半导体产业的集聚区域。未来，广东微纳院将不断扩展产业版图，打造成为具有全国影响力的集产业孵化、人才培养、芯片制造等要素的科创平台。

佛山市副市长陈新文表示，作为市首批中试平台授牌单位之一，希望广东微纳院继续发挥引领龙头作用，深化半导体中试平台+产业孵化育成的创新模式，为企业解决技术瓶颈和难题，推动半导体产业向更高层次、更广领域发展。

此外，广东微纳院与华南师范大学工学部还举行了合作签约仪式，并与广东绿展科技有限公司、广东汇芯半导体有限公司、广东鸿浩半导体设备有限公司等三家企业分别达成产学研合作，多方将开展多层次、多形式的合作，加速人才链、创新链和产业链的深度融合，实现科技与产业双向奔赴。