中国AMHS行业加速发展，到2025年市场规模将超80亿元

AMHS（Automated Material Handling System）即自动物料搬送系统，一般特指在洁净室环境下，通过软件系统的控制和调度，按照生产系统的指令，实现物料在生产线工序间的自动搬运、缓冲存放的系统，广泛应用于半导体晶圆制造厂、半导体封装测试厂、显示面板厂等领域，其性能高低已成为影响电子信息制造厂尤其是先进制程晶圆制造厂产线稼动率和良率的重要因素。

全球AMHS市场规模约占半导体设备总量的3%。根据赛迪顾问2023年12月发布的《中国AMHS产业发展研究报告》显示，2015-2022年全球AMHS市场复合增长率24%。特别是随着大尺寸晶圆厂的建设，AMHS被广泛应用，市场规模实现高速增长。预计到2025年，全球AMHS市场规模将达到39.2亿美元。

图1  全球AMHS市场规模测算

数据来源：赛迪顾问，2023.12

作为多学科交叉领域，AMHS系统的开发和制造需要对精密机械设计、高级软件算法、实时控制系统以及先进的导航与定位技术有深入理解和独特创新能力，具有高技术壁垒。同时，由于AMHS的性能对于晶圆厂稼动率和良率至关重要，因此晶圆厂均谨慎选择AMHS系统供应商。日本大福（Daifuku）和日本村田机械（Murata Machinery）两家头部企业凭借先发优势积累的技术能力、品牌信誉和稳定的客户关系建立了强大的市场壁垒，二者市场份额占全球90%以上。

近年来，随着中国新型工业化的加速推进，中国半导体产业的物流自动化整体实现高速增长。本土企业在AMHS领域加速发展，多家厂商在不同细分市场取得了本土晶圆厂的技术评估、Demo测试机会，其中弥费科技更是成为国内少数能够为半导体晶圆厂客户提供本土化AMHS整体解决方案的企业，目前在中国大陆的市场份额已超过4%，占本土企业市场份额70%以上。根据赛迪顾问测算，2015至2022年中国大陆AMHS市场的复合增长率为38%。随着大尺寸晶圆制造产能的扩充、相关标准的完善、本土晶圆厂的验证测试逐渐开放等利好因素，中国大陆AMHS市场将持续增长，预计到2025年将超80亿元。

图2  中国大陆AMHS市场规模测算

数据来源：赛迪顾问，2023.12

未来，晶圆制造的进一步复杂化和精细化，对AMHS供应商技术能力也将提出更高要求。一是AMHS将向智能化发展，在软件系统中引入AI有助于AMHS系统提升定制化服务、人机交互、自适应控制、智能分析与决策、故障预测与维护等能力，从而进一步优化整体物料搬运过程，提升稼动率和产品良率，为客户实现降本增效。二是基于无线供电的物料搬运天车及其控制解决方案因取电便利、节省功耗等原因，未来将加速渗透各晶圆制造厂，并将逐渐替代有线供电解决方案。三是接口协同的重要性日益凸显，标准的SEMI软件接口将为对接物料管控系统（MCS）提供更多便利性，以实现工厂智能管理。

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