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光刻过程的工艺仿真-西门子Tecnomatix Process Simulate

本项目专注于晶圆光刻过程的仿真，采用先进的机器人技术和自动化手段，提高精度、一致性和效率。该系统包括一个带有抓手的机械臂以及四个关键设备：加热板、旋涂机、晶圆清洗机和无掩模直接写入对准仪（MLA150），这些设备都集成在一个中央工作区周围。我们使用西门子Tecnomatix Process Simulate提供的详细3D仿真环境来建模和优化制造过程。仿真涵盖了17个相互连接的步骤，每个步骤都由可编程逻辑控制器（PLC）控制，确保操作无缝进行并保持高生产质量。该方法旨在减少人力资源，降低生产风险，并确保在制造约瑟夫森参量放大器（JPA）时达到最高质量和可靠性标准。该项目强调了数字化制造解决方案在现代光刻中的潜力，为未来的应用提供了一个可扩展且高效的模型。

陈戎禄

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08/26 10:56

制程工艺 plc控制

STM32 翌控科技米尔电子 | STM32MP135开放式高实时高性能PLC控制器解决方案发布

随着工业数字化进程加速与IT/OT深入融合，不断增加的OT核心数据已经逐步成为工业自动化行业的核心资产，而OT层数据具备高实时、高精度、冗余度高、数据量大等等特点，如何获取更加精准的OT数据对数字化进程起到至关重要的作用，同时随着国内工业控制系统逐步进入中高端应用，更加精准的控制至关重要，因此工业控制系统高实时高性能需求尤其突出。