PECVD_PECVD是什么意思

学员问：PECVD中的shower head有什么作用？shower head是什么东西？如上图，Showerhead，又可翻译为喷淋头，花洒等，Showerhead通常紧贴反应区的上部，并作为气体入口，将反应气体通过其表面的小孔均匀地注入到腔体内。当然并不是仅仅只有气体分布的功能，有的设计好可以用来充当电极的一部分。

TOM聊芯片智造

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PECVD

拓荆科技科创板IPO获受理，募资10亿元加码高端半导体设备

拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。

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2021/07/13

半导体设备中芯国际

如果PECVD反应器中的等离子体无法稳定，如何排查问题

等离子增强化学气相沉积（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD）是一种常用的薄膜生长技术，其核心是产生并利用等离子体对反应物质进行激活和沉积。然而，有时候在PECVD反应器中，等离子体可能会出现不稳定的情况，导致薄膜的质量和均匀性下降。本文将详细探讨如何排查PECVD反应器中等离子体不稳定的问题及解决方法。