PECVD_PECVD是什么意思

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PECVD中影响薄膜应力的因素
学员问：薄膜应力是沉积中必须要考虑的问题，请问影响PECVD 薄膜应力的因素有哪些？各有什么优缺点？

TOM聊芯片智造

789

02/08 08:59

PECVD
PECVD TEOS工艺介绍
学员问：在沉积SiO2薄膜时，常采用PECVD TEOS工艺，那么TEOS有哪些优势？

TOM聊芯片智造

2853

01/26 10:01

PECVD
先进逻辑和3D存储的希望，PECVD、晶圆键合龙头——拓荆科技
随着集成电路制造不断向更先进工艺发展，单位面积集成的电路规模不断扩大，芯片内部立体结构日趋复杂，所需要的薄膜层数越来越多，对绝缘介质薄膜、导电金属薄膜的材料种类和性能参数不断提出新的要求。在 90nm CMOS 工艺，大约需要 40 道薄膜沉积工序。在 3nmFinFET 工艺产线，需要超过 100 道薄膜沉积工序，涉及的薄膜材料由 6 种增加到近 20 种，对于薄膜颗粒的要求也由微米级提高到纳

王兵

8016

2024/12/10

与非研究院 CVD
PECVD制取SiO2需要什么气体？
学员问：麻烦介绍下PECVD制取SiO2薄膜的工艺注意事项？要制备SiO2，需要有硅源与氧源。硅源我们这里以硅烷为例，氧气源可以是 O₂、N₂O、NO 或 CO₂反应方程式为：

TOM聊芯片智造

1632

2024/11/26

PECVD
PECVD的喷淋头有什么作用？
学员问：PECVD中的shower head有什么作用？shower head是什么东西？如上图，Showerhead，又可翻译为喷淋头，花洒等，Showerhead通常紧贴反应区的上部，并作为气体入口，将反应气体通过其表面的小孔均匀地注入到腔体内。当然并不是仅仅只有气体分布的功能，有的设计好可以用来充当电极的一部分。

TOM聊芯片智造

3203

2024/11/01

PECVD

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