MEMS技术_MEMS技术是什么意思 - 与非网

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MEMS的原理、分类、常见工艺及工具概述

MEMS技术基于微型化的传感器和执行器，通过精密的机械结构实现对物理信号的感知和控制。这些设备能够检测从压力、温度到加速度等各种物理参数，然后将这些信息转换成电信号进行处理。MEMS设备的核心在于它们能够在非常小的尺寸上实现复杂的功能，通常尺寸仅为几微米到几毫米。

老虎说芯

7031

05/14 14:41

mems MEMS技术
这是我看过最棒的MEMS介绍文章，从原理制造到应用全讲透（强推！）

从原理到制造再到应用，这篇文章终于把MEMS技术讲透了！

传感器专家网

3397

2023/08/11

MEMS技术
中国工程院院士：已经明朗，MEMS技术是传感器重要的发展方向和趋势！

院士对智能传感器与 MEMS 技术的预判有些已成为现实

传感器专家网

3276

2023/07/21

MEMS技术
开年盛事，释放崛起“芯”信号

2023年2月16日，“感于芯智未来”第三届中国智能传感大会在上海嘉定举办。本次大会由工业和信息化部电子信息司、上海市经济和信息化委员会、上海市嘉定区人民政府指导，国家智能传感器创新中心、中国传感器与物联网产业联盟与上海智能传感器产业园共同主办。大会得到了上海市集成电路行业协会、上海市嘉定区经济委员会、上海市嘉定区科学技术委员会、上海市嘉定区投资促进服务中心、上海嘉定工业区的大力支持，由上海矽知

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2321

2023/02/16

汽车半导体智能传感器
用于状态监控的高保真振动采集平台

本文说明MEMS技术的最新进展如何将加速度传感器推到前沿，在状态监控应用中与压电传感器抗衡竞争；还将讨论如何使用使这一切成为可能的新开发平台。

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1061

2022/04/06

传感器 mems

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