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Lift off工艺

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即揭开一剥离工艺,是晶圆厂中的常见工艺,是制作金属互连、导线和其他结构时的一种替代光刻和蚀刻过程的方法。

即揭开一剥离工艺,是晶圆厂中的常见工艺,是制作金属互连、导线和其他结构时的一种替代光刻和蚀刻过程的方法。收起

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