Lift off工艺_Lift off工艺是什么意思 - 与非网

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lift off工艺为什么常用蒸发的方式镀膜？

学员问：我观察到晶圆厂中lift off工艺，镀膜都是用的电子束蒸发的方式，很少有用磁控溅射的方式，为什么？

TOM聊芯片智造

1485

08/13 09:43

电子束 Lift off工艺
负胶的Undercut在lift-off工艺中的应用

光刻工艺中负胶因为粘度偏大，和正胶相反的曝光模式，被广泛应用，但是负胶精度没有正胶好，容易显影变形，价格也普遍相对较贵。

芯片工艺技术

3616

08/12 12:00

光刻技术 Lift off工艺
什么是Lift off工艺？

有朋友问：Lift off工艺是什么？Lift off工艺是晶圆厂中的常见工艺，它是制作金属互连、导线和其他结构时的一种替代光刻和蚀刻过程的方法。见下图：

TOM聊芯片智造

6721

04/07 10:50

晶圆工艺 Lift off工艺

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