HDPCVD

• HDPCVD的原理
  

  知识星球里的学员问：麻烦介绍下HDPCVD的具体用途，原理。 什么是HDPCVD? HDPCVD，全名High Density Plasma Chemical Vapor Deposition，即高密度等离子体化学气相沉积。它产生的等离子体密度非常高，通常在10¹¹至10¹² ions/cm³的量级。相比之下，PECVD的等离子体密度就很低了，在间隔宽度小于0.5μm的情况下，用PECVD填充高的

  TOM聊芯片智造

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  09/09 17:40

  CVD HDPCVD

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