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HDPCVD

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  • HDPCVD的原理
    HDPCVD的原理
    知识星球里的学员问:麻烦介绍下HDPCVD的具体用途,原理。 什么是HDPCVD? HDPCVD,全名High Density Plasma Chemical Vapor Deposition,即高密度等离子体化学气相沉积。它产生的等离子体密度非常高,通常在10¹¹至10¹² ions/cm³的量级。相比之下,PECVD的等离子体密度就很低了,在间隔宽度小于0.5μm的情况下,用PECVD填充高的