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EUV光刻机

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极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。

极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。收起

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    深度丨EUV光刻机巨头风云争夺战
    各大巨头在未来仍将围绕High-NA EUV设备展开激烈竞争,争相导入或宣布市场进展,预示着半导体行业将迎来新一轮技术革新。目前,英特尔、台积电、三星、SK海力士等晶圆制造大厂已纷纷对High-NA EUV光刻机表现出强烈的关注与行动。
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    为什么研发EUV光刻机那么难?
    虽然表面上看,光刻机是半导体制造的工具之一,但它的背后涉及复杂的多学科交叉与全球化合作。EUV光刻机依赖于波长仅为13.5纳米的极端紫外线(EUV)光源,而这种光源的产生与控制是最大的技术挑战之一。你可以把EUV光源想象成一个非常难以控制的“灯泡”,但这个“灯泡”不仅需要在超高真空环境下工作,还必须产生极其稳定和强大的光束。任何微小的不稳定都会影响最终的成像效果。
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    ASML营收额的增长势头可能将迎来急刹车。荷兰费尔德霍芬时间10月15日,ASML发布2024年第三季度财报,财报显示,2024年第三季度,ASML实现净销售额74.67亿欧元,环比增长19.6%;净利润达20.77亿欧元,环比增长31.6%,二者均创下自2021年第一季度以来的历史新高。然而,该季度新增订单金额仅为26.33亿欧元,环比减少52.7%,不及市场预期的54亿欧元的一半,接近2021年第一季度以来的历史低值(2023年第三季度新增订单金额26.02亿欧元)。
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    ASML发布2024年第三季度财报 | 净销售额75亿欧元,净利润为21亿欧元
    阿斯麦(ASML)今日发布2024年第三季度财报。2024年第三季度,ASML实现净销售额75亿欧元,毛利率为50.8%,净利润达21亿欧元。今年第三季度的新增订单金额为26亿欧元²,其中14亿欧元为EUV光刻机订单。ASML预计2024年第四季度的净销售额在88亿至92亿欧元之间,毛利率介于49%到50%,2024年全年的净销售额约为280亿欧元。ASML还预计,2025年的净销售额在300亿至
  • 日本提出EUV光刻新方案:光源功率可降低10倍,成本将大幅降低!
    日本提出EUV光刻新方案:光源功率可降低10倍,成本将大幅降低!
    8月7日消息,近日日本冲绳科学技术大学(OIST)的Tsumoru Shintake教授带领的研究团队提出了一项全新、大幅简化的面向极紫外(EUV)光刻机的双反射镜系统。相比传统的至少需要六面反射镜的配置,新的光学投影系统仅使用了两面反射镜,在确保系统维持较高的光学性能的同时,能让EUV光线以超过初始值10%的功率到达晶圆,相比传统系统中仅1%的功率来说,提了高到了原来的10倍,可说是一大突破。