EOS

• 东方晶源深耕电子束量测检测核心技术 “三箭齐发”新一代EOS上“机”
  

  电子束量测检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一，深度参与光刻环节、对制程节点敏感并且对最终产线良率起到至关重要的作用。其最为核心的模块为电子光学系统（Electron Optical System，简称EOS），决定设备的成像精度和质量， 进而决定设备的性能。 作为电子束量测检测领域的先行者、领跑者，东方晶源始终坚持自主研发，不断深化研发投入、加速技术创新步伐，致力于为客

  与非网编辑

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  08/21 07:17

  半导体工艺 电子束
• 芯导电子，这家月出货过一亿颗功率器件的公司不仅要做产品
  虽然在采访快结束时，欧新华才略显不好意思地说：“公司成立的时候有一个小小的愿望，希望能够成为芯片产业的领导者，英文Prisemi也是这个意思。” 芯导电子总经理欧新华认为，国内电子制造大市场已经形成，但是以集成电路半导体器件为代表的上游还是牢牢掌控在国外公司手里，这就呼唤国内出现几个像样的上游供货商。“

  与非网记者

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  2015/12/05

  小米 功率器件

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