DUV_DUV是什么意思

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光刻工艺中g线、i线、DUV、EUV是什么意思？
不同波长的光源各自对应不同的技术节点和制造需求。从早期的 g线、i线到目前主流的 KrF、ArF 再到最尖端的 EUV，每一次升级都展现了更高分辨率和更先进的工艺水平。随着对器件尺寸不断逼近物理极限，EUV及其后续升级版本将持续发展。

老虎说芯

1250

03/20 12:20

EUV 光刻技术
半导体设备市场屡创新高，ASML揭秘背后四大增长动力！
近期，全球光刻机大厂ASML在“2024 Investor Day Meeting”（2024投资者日）活动上，对于半导体产业现状及未来发展趋势进行了分享，剖析了推动半导体设备市场的持续增长的四大关键驱动力：AI服务器市场的持续增长（对于先进制程的需求）、成熟制程市场的持续扩张、前端3D集成的趋势、先进封装市场的旺盛需求。

芯智讯

2296

01/10 14:22

半导体设备先进封装
美国施压之下，荷兰将禁止ASML对在华高端DUV设备维护？
8月29日消息，最新的业内消息显示，荷兰政府计划限制ASML在中国维修半导体设备的能力，这或将对于中国提升先进制程制造能力的努力造成打击。据熟悉内情的人士透露，在ASML某些在中国提供服务和备件的许可证于今年年底到期后，荷兰首相迪克·肖夫政府很可能不再为其续期。这一决定预计将涉及该公司的高端深紫外光刻（DUV）设备。

芯智讯

1869

2024/08/30

半导体设备 ASML
ASML的DUV光刻机型号汇总
前两期的文章中我们介绍了ASML的G线，i线，EUV光刻机的型号，见文章：ASML的光刻机型号汇总(上)ASML的EUV光刻机型号汇总。今天我们来介绍一下，ASML的DUV光刻机的型号。

TOM聊芯片智造

1.2万

2024/07/29

光刻机 DUV
三大产品线全力升级东方晶源引领国内电子束量测检测发展
电子束量检测是半导体量检测领域的主要技术类型之一，在半导体制程不断微缩，光学检测对先进工艺图像识别的灵敏度逐渐减弱的情况下，发挥着越来越重要的作用。电子束量检测设备对于检测的精度、可适用性、稳定性、吞吐量等要求很高，其研发和设计非常具有技术挑战性。作为布局该领域最早的国内企业之一，东方晶源已先后成功推出电子束缺陷检测设备EBI，关键尺寸量测设备CD-SEM（12英寸和6&8英寸），电子束

与非网编辑

2065

2024/06/26

半导体 ADC

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