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良率,亦称“合格率”。产品质量指标之一,指合格品量占全部加工品的百分率。在半导体工艺中,生产线良率表征的是晶圆从下线到成功出厂的概率;晶圆良率表征的是一片晶圆上的芯片合格率。生产线良率乘以晶圆良率就是总良率。
良率,亦称“合格率”。产品质量指标之一,指合格品量占全部加工品的百分率。在半导体工艺中,生产线良率表征的是晶圆从下线到成功出厂的概率;晶圆良率表征的是一片晶圆上的芯片合格率。生产线良率乘以晶圆良率就是总良率。收起