离子注入

• 离子注入：硅基集成电路制造中的关键工艺之一
  

  在现代半导体制造过程中，控制半导体材料的电学特性至关重要。通过掺杂工艺向半导体中引入杂质原子，能够改变材料的导电性，形成如晶体管等基础元件的关键区域。传统的掺杂方法有扩散法和离子注入法，而自20世纪70年代以来，离子注入技术因其高精度、可控性和工艺温度相对较低，逐渐成为主流的杂质掺杂方式。

  老虎说芯

  2091

  10/10 15:10

  离子注入
• 晶圆Fab厂离子注入工程师常见面试问题
  

  国内某知名Fab工程师工作5年的李工分享了离子注入工艺岗位的面试问题：这些问题分成几个主要类别：理论知识、工艺理解与优化、设备操作与维护、故障排查与解决、项目管理与协作，以及前沿技术与趋势。以下是按照这些类别整理的50个问题。

  老虎说芯

  1306

  08/15 10:40

  fabless 离子注入
• SiC离子注入设备的厂家有哪些？
  学员问：我想咨询一下国内做SiC离子注入设备的厂家有哪些？如下图，目前下图是国内已知的稍大的离子注入设备供应商，相对国外的AMAT,Axcelis相比，实力会差很多。主要体现在：

  TOM聊芯片智造

  1617

  08/05 10:45

  SiC 离子注入机
• 离子注入后不退火行不行？
  离子注入后都会退火，退火的作用是什么？不退火行不行？离子注入对硅片造成哪些影响？离子注入时，高能的杂质离子加速撞击硅片表面，将其动能转化为热能和位移能，引起硅原子的迁移和重排，破坏了硅的晶格结构，会产生位错、空位等缺陷。

  TOM聊芯片智造

  2284

  06/19 12:00

  硅片 离子注入
• 万业企业旗下凯世通：不走寻常路，全面发力集成电路核心装备
  CMOS工艺的发展极大推动了离子注入工艺的发展，也可以说离子注入工艺的不断成熟进一步改善了集成电路产品的质量，尤其是CMOS产品的性能。

  赵元闯

  301

  2020/05/06

  电路 集成电路
• 国产装备蓄势待发
  2019年国产装备在晶圆制造厂的招标中高歌猛进，北方华创、屹唐半导体、中微半导体、华海清科的中标数量上升，表示刻蚀、去胶、清洗、离子注入、薄膜沉积、CMP等关键装备国产化全面提速……

  赵元闯

  193

  2020/01/30

  晶圆制造 离子注入
• 离子注入
  离子注入是一种使用高能量离子进行材料表面改性技术。通过将离子束加速到较高速度，使其穿透固体表面并嵌入固体内部，从而改变其物理结构、化学组成和性能等方面。离子注入技术广泛应用于半导体、涂层、生物医学等多个领域。

  eefocus_3781508

  5402

  2023/06/25

  离子注入

正在努力加载...