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碳化硅晶体

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早在1824年,瑞典科学家Berzelius(1779一1848)在人工合成金刚石的过程中就观察到了SiC的存在,但是因为天然的SiC单晶极少,当时人们对SiC的性质几乎没有什么了解。

早在1824年,瑞典科学家Berzelius(1779一1848)在人工合成金刚石的过程中就观察到了SiC的存在,但是因为天然的SiC单晶极少,当时人们对SiC的性质几乎没有什么了解。收起

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  • 国产SiC实现3大技术突破:沟槽MOS/8英寸/SiCOI量产
    国产SiC实现3大技术突破:沟槽MOS/8英寸/SiCOI量产
    近期国内多家SiC企业均获得了最新技术突破,涉及沟槽技术、大尺寸制备等:● 青禾晶元:实现了高质量晶圆级SiCOI(6寸,SiC膜厚1μm±100nm)的规模化生产。● 国家第三代半导体技术创新中心(南京):成功攻关沟槽型碳化硅MOSFET芯片制造关键技术● 上海汉虹:使用自行研发制造的碳化硅长晶炉成功拉制出高品质8英寸碳化硅晶体。
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    2023/05/04
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    近日,晶盛机电通过官方微信公众号宣布,经过晶体实验室研发团队半年多的技术攻关,8月12日,首颗8英寸(200mm)N型SiC(碳化硅)晶体成功出炉,晶盛第三代半导体材料SiC研发自此迈入8英寸时代。

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