电子束

• 东方晶源深耕电子束量测检测核心技术 “三箭齐发”新一代EOS上“机”
  

  电子束量测检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一，深度参与光刻环节、对制程节点敏感并且对最终产线良率起到至关重要的作用。其最为核心的模块为电子光学系统（Electron Optical System，简称EOS），决定设备的成像精度和质量， 进而决定设备的性能。 作为电子束量测检测领域的先行者、领跑者，东方晶源始终坚持自主研发，不断深化研发投入、加速技术创新步伐，致力于为客

  与非网编辑

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  08/21 07:17

  半导体工艺 电子束
• lift off工艺为什么常用蒸发的方式镀膜？
  学员问：我观察到晶圆厂中lift off工艺，镀膜都是用的电子束蒸发的方式，很少有用磁控溅射的方式，为什么？

  TOM聊芯片智造

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  08/13 09:43

  电子束 Lift off工艺
• 光刻技术，有了新选择
  

  光刻工艺是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。

  半导体产业纵横

  3779

  08/08 10:50

  光刻技术 电子束
• 替代EUV光刻机，有戏吗？
  除了积极跟踪EUV光刻机的开发进程，芯片厂商也在寻找能够替代EUV光刻机的技术。被寄予厚望的不仅仅是电子束光刻技术。铠侠力推NIL压印工艺，声称有望在2025年实现5nm工艺；台积电采用DUV光刻技术同样实现了7nm工艺，并声称DUV光刻技术可以也可以实现5nm工艺。

  中国电子报

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  2022/09/30

  EUV光刻机 电子束
• 电子束焊接原理
  电子枪中的阴极由于直接或间接加热而发射电子，该电子在高压静电场的加速下再通过电磁场的聚焦就可以形成能量密度极高的电子束，用此电子束去轰击工件，巨大的动能转化为热能，使焊接处工件熔化，形成熔池，从而实现对工件的焊接。

  cestbona

  1607

  2021/04/26

  电子束
• 电子束焊接
  电子束焊接是一种高能量密度焊接方法，利用对产生的高速电子束进行聚焦，通过在工件上产生热量来实现材料的熔接。这项技术在现代制造业中扮演着重要角色，具有独特的优势和应用领域。

  eefocus_3901714

  1530

  10/22 11:47

  焊接 电子束
• 电子束曝光
  电子束曝光是一种先进的微影技术，广泛应用于半导体工艺、纳米制造等领域。通过使用高速电子束对待加工物进行准确的曝光，可以实现微小尺寸和复杂结构的制造，具有极高的分辨率和精度。

  eefocus_3781508

  6531

  2023/07/26

  电子束

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