模块化结构

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电路方案

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  • 碳化硅衬底修边处理后,碳化硅衬底TTV变化管控
      一、碳化硅衬底修边处理的作用与挑战修边处理是碳化硅衬底加工中的一个关键步骤,主要用于去除衬底边缘的毛刺、裂纹和不规则部分,以提高衬底的尺寸精度和边缘质量。然而,修边过程中由于机械应力、热应力以及工艺参数的精确控制难度,往往会导致衬底表面TTV的变化,进而影响后续加工工序和最终产品的性能。 二、影响修边处理后TTV变化的关键因素修边工艺:修边工艺的选择直接影响TTV的变化。不同的修边工艺,如机械
    碳化硅衬底修边处理后,碳化硅衬底TTV变化管控