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光刻工艺中,什么是Binary mask和Phase Shift Mask?一次讲明白!
在半导体光刻技术中,光掩模(Photo mask)是芯片制造的核心工具之一,其作用类似于传统照相的底片,通过控制光线透射或阻挡,将电路图案转移到硅片上。随着芯片制程不断微缩至纳米级,掩模技术也在持续演进。其中,
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1.7万
2025/05/06
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全球半导体光刻掩模版及配套材料供应商整理(73家)
网上做光刻机科普的文章一大堆,光刻胶的介绍相对较少,而掩模版相关的资料就更少了在这里,我根据我一点有限的知识,也给大家简单讲解一下:客观来说,单凭光刻掩模版几个字是无法讨论和判断技术难度的。掩模版并不仅仅是用在半导体领域,印刷电路版、显示面板、硬盘、乃至其它各种微图形加工的领域里,我们都有机会用到掩模版
半导体综研
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2025/05/06
掩模光刻
从设计到做出一张光刻掩模版要多久?
学员问:光刻掩模版是如何做出来的,麻烦详细讲解下。设计分为四步:1. 讨论工艺步骤(约1小时):工艺人员和设计人员会首先讨论掩膜板的设计要求,明确最终所需的图案、分辨率以及工艺需求。
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2024/09/25
掩模光刻
行业数据:全球光刻掩模版供应商列表
在半导体制造领域,光刻工艺可以说是所有制造环节里最复杂的一道了。由此,无论是光刻机还是光刻胶都是大家关注的焦点,甚至在网络上也成为了热门话题不过相对而言,似乎光刻掩模版相关的话题热度就少了很多。其实这个领域也并不简单,在光刻掩模版及其上游供应链里也存在着大量的机会,值得行业关注
半导体综研
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2023/10/30
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掩模光刻
深度丨当EUV薄膜成为“高精尖”芯片良率的关键
近20年来,EUV光源、EUV掩模和EUV光刻胶一直是EUV光刻的三大技术挑战。近几年来,随着EUV光源的不断进展,EUV掩模开始位居三大技术挑战之首,而EUV掩模最困难的环节之一就是EUV薄膜。
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2023/09/14
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