微纳加工

• 无掩膜光刻机，微纳加工的下一个答案？
  

  第十四届中国国际纳米技术产业博览会（简称“纳博会”）在万众瞩目中圆满落下了帷幕。这场全球纳米科技领域盛会，以1场主报告、13场分论坛、1场创新创业大赛，1场新产品发布会为主，汇聚了全球纳米科技领域的18位院士，450多位高校研究院所、上市公司、知名企业机构的顶级专家代表出席，分享专业报告476场，较往届增加132场，同比增长约33%，吸引9663位嘉宾参会听会。

  芯师爷

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  11/12 09:20

  光刻机 微纳加工
• 为湾区强“芯”！广东微纳院半导体微纳加工中试平台正式通线
  7月11日，凝聚“芯”动能，共筑“芯”高地——广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在佛山南海举行。会上，广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线，二期产业孵化区正式封顶，一批半导体项目现场签约，为湾区半导体产业发展注入“芯”动能。 中国科学院苏州纳米所党委书记邓强，广东省科技厅二级巡视员夏奇峰，佛山市副市长陈新文，南海区委副书记、区长王勇，

  电子科技世界

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  07/12 08:45

  半导体 微纳加工
• 飞秒激光光丝远程传感与微纳加工
  超快强激光因其超高峰值功率、超短脉宽等特点，在大气（或其它光学介质）中传输时，会形成一个丝状高光功率密度等离子通道，被形象地称为“光丝”，在多相态物质探测和分析、不规则材料表面微纳加工等领域拥有重要应用潜力。获得国内发明专利10余项，发表文章100余篇。

  吉林大学长三角技术转移中心

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  2023/03/07

  微纳加工
• 湿法刻蚀
  湿法刻蚀是一种常见的微纳加工技术，用于在半导体制造和微电子领域中对材料表面进行精确的刻蚀。通过将待刻蚀的材料浸泡在化学溶液中，利用化学反应来去除或改变材料表面的特定区域，实现微结构的制作。本文将介绍湿法刻蚀的定义、原理、应用、优缺点以及相关安全措施。

  eefocus_3901714

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  01/31 10:39

  刻蚀工艺 微纳加工

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