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微纳加工

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  • 无掩膜光刻机,微纳加工的下一个答案?
    无掩膜光刻机,微纳加工的下一个答案?
    第十四届中国国际纳米技术产业博览会(简称“纳博会”)在万众瞩目中圆满落下了帷幕。这场全球纳米科技领域盛会,以1场主报告、13场分论坛、1场创新创业大赛,1场新产品发布会为主,汇聚了全球纳米科技领域的18位院士,450多位高校研究院所、上市公司、知名企业机构的顶级专家代表出席,分享专业报告476场,较往届增加132场,同比增长约33%,吸引9663位嘉宾参会听会。
  • 为湾区强“芯”!广东微纳院半导体微纳加工中试平台正式通线
    7月11日,凝聚“芯”动能,共筑“芯”高地——广东中科半导体微纳制造技术研究院(以下简称“广东微纳院”)半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在佛山南海举行。会上,广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线,二期产业孵化区正式封顶,一批半导体项目现场签约,为湾区半导体产业发展注入“芯”动能。 中国科学院苏州纳米所党委书记邓强,广东省科技厅二级巡视员夏奇峰,佛山市副市长陈新文,南海区委副书记、区长王勇,
  • 飞秒激光光丝远程传感与微纳加工
    超快强激光因其超高峰值功率、超短脉宽等特点,在大气(或其它光学介质)中传输时,会形成一个丝状高光功率密度等离子通道,被形象地称为“光丝”,在多相态物质探测和分析、不规则材料表面微纳加工等领域拥有重要应用潜力。获得国内发明专利10余项,发表文章100余篇。
  • 湿法刻蚀
    湿法刻蚀是一种常见的微纳加工技术,用于在半导体制造和微电子领域中对材料表面进行精确的刻蚀。通过将待刻蚀的材料浸泡在化学溶液中,利用化学反应来去除或改变材料表面的特定区域,实现微结构的制作。本文将介绍湿法刻蚀的定义、原理、应用、优缺点以及相关安全措施。