射频电源_射频电源是什么意思 - 与非网

类型

资讯

射频电源的频率对刻蚀有什么影响？

学员问：干法刻蚀中，射频电源的功率与频率对刻蚀结果都有哪些影响？什么是RF的功率与频率？RF功率（RF Power）,是指射频电源提供给等离子体系统的能量大小，用于等离子体的产生和稳定,通常以瓦特（W）为单位。RF频率（RF Frequency）,是指射频电场的振荡频率，通常以赫兹（Hz）为单位。

TOM聊芯片智造

871

12/16 10:15

刻蚀工艺射频电源
射频电源的频率与等离子体能量，密度的关系？

学员问：等离子刻蚀机台的频率有13.56MHz，2.45GHz等，频率的大小的不同会对造成什么影响？该怎么选用。射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中，起到激发等离子体、选择刻蚀方向等作用。

TOM聊芯片智造

4297

07/01 13:25

射频电源等离子体
美国Advanced Energy公司宣布为等离子体的工业化应用提供Alta数字化控制的射频电源能量传输平台

美国Advanced Energy公司（纳斯达克：AEIS）——高度工程化的精密电源转换、测量和控制解决方案的全球领导者——今天宣布推出一款综合的射频电源传输解决方案，该方案结合了先进的数字控制电源和精确的数字阻抗匹配网络。

与非网编辑

486

2022/05/19

数字控制射频电源
射频电源

射频电源是一种用于产生高频交流电能的电源，广泛应用于机械加工、医疗设备、通信系统等领域。其特殊之处在于可以产生高功率高频电能，而且输出的电能稳定可靠。

jgsxr

5311

2021/01/26

射频射频电源
射频电源的结构及应用领域

射频（Radio Frequency，RF）电源是指在无线电频率范围内工作并提供射频功率输出的电源设备。它在通信、医疗、科学研究和工业制造都有广泛的应用。

eefocus_3901714

180

12/17 16:01

射频射频电源

与非星榜

相关标签