射频电源_射频电源是什么意思

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半导体设备电源（直流、射频）供应商统计
发布一下半导体设备零部件的供应商统计数据吧。这块领域应该是接下来一两年里半导体行业投资的热门方向了今天正好更新了一下设备电源供应商的数据，就趁热打铁地发布一下吧

半导体综研

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01/22 09:04

半导体设备直流电源
射频电源的频率对刻蚀有什么影响？
学员问：干法刻蚀中，射频电源的功率与频率对刻蚀结果都有哪些影响？什么是RF的功率与频率？RF功率（RF Power）,是指射频电源提供给等离子体系统的能量大小，用于等离子体的产生和稳定,通常以瓦特（W）为单位。RF频率（RF Frequency）,是指射频电场的振荡频率，通常以赫兹（Hz）为单位。

TOM聊芯片智造

1707

2024/12/16

刻蚀工艺射频电源
射频电源的频率与等离子体能量，密度的关系？
学员问：等离子刻蚀机台的频率有13.56MHz，2.45GHz等，频率的大小的不同会对造成什么影响？该怎么选用。射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中，起到激发等离子体、选择刻蚀方向等作用。

TOM聊芯片智造

5009

2024/07/01

射频电源等离子体
美国Advanced Energy公司宣布为等离子体的工业化应用提供Alta数字化控制的射频电源能量传输平台
美国Advanced Energy公司（纳斯达克：AEIS）——高度工程化的精密电源转换、测量和控制解决方案的全球领导者——今天宣布推出一款综合的射频电源传输解决方案，该方案结合了先进的数字控制电源和精确的数字阻抗匹配网络。

与非网编辑

461

2022/05/19

数字控制射频电源
射频电源
射频电源是一种用于产生高频交流电能的电源，广泛应用于机械加工、医疗设备、通信系统等领域。其特殊之处在于可以产生高功率高频电能，而且输出的电能稳定可靠。

jgsxr

4924

2021/01/26

射频射频电源

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