射频电源_射频电源是什么意思 - 与非网

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射频电源的频率与等离子体能量，密度的关系？

学员问：等离子刻蚀机台的频率有13.56MHz，2.45GHz等，频率的大小的不同会对造成什么影响？该怎么选用。射频电源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蚀、去胶、PVD、干法清洗等设备中，起到激发等离子体、选择刻蚀方向等作用。

TOM聊芯片智造

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07/01 13:25

射频电源等离子体
美国Advanced Energy公司宣布为等离子体的工业化应用提供Alta数字化控制的射频电源能量传输平台

美国Advanced Energy公司（纳斯达克：AEIS）——高度工程化的精密电源转换、测量和控制解决方案的全球领导者——今天宣布推出一款综合的射频电源传输解决方案，该方案结合了先进的数字控制电源和精确的数字阻抗匹配网络。

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2022/05/19

数字控制 Advanced Energy
射频电源

射频电源是一种用于产生高频交流电能的电源，广泛应用于机械加工、医疗设备、通信系统等领域。其特殊之处在于可以产生高功率高频电能，而且输出的电能稳定可靠。

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6002

2021/01/26

射频射频电源
射频电源工作原理射频电源的作用

射频电源是一种产生高频电场的装置，常用于无线通信、雷达、等离子体切割、医疗设备等领域。下面将分别介绍射频电源的工作原理和作用。

wx喵不二~

1.1万

2023/03/09

射频电源

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