射频溅射

• 上海陛通半导体能源科技股份有限公司圆满完成新一轮融资！
  

  2023年11月，国产半导体薄膜沉积设备研发制造企业上海陛通半导体能源科技股份有限公司圆满完成近5亿元新一轮融资。 本轮融资获得君桐资本、金浦创新、上海科创集团、浙江发展资产、赛富管理、三元资本等知名产业及投资机构的大力支持，力合资本、长江国弘等多家老股东追投。本轮融资后，陛通半导体将持续加大技术和产品研发投入，积聚更多优秀人才，推出更多国产高端薄膜沉积设备品种，加快产业化布局。 陛通半导体成立于

  与非网编辑

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  2023/11/23

  国产半导体 磁控溅射
• 射频溅射
  射频溅射是一种常见的薄膜制备技术，适用于 metal、oxide、nitride 等多种材料的制备。通过将靶材置于真空室内，在加入惰性气体的环境下施加高频电场，使得靶材表面发生碰撞，产生原子、离子等束流，并在衬底表面生成薄膜。

  wx喵不二~

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  2022/07/12

  射频溅射
• 直流溅射为什么不能溅射绝缘体 直流溅射和射频溅射的区别
  直流溅射是一种利用电极在真空或惰性气体中将材料溅射到衬底上来形成薄膜的技术。与射频溅射相比，直流溅射的能量很低，因此无法将材料溅射到不良导体如绝缘体表面。另外，直流溅射形成的薄膜的结构比较致密，适合制备金属和合金化合物薄膜。

  eefocus_3880508

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  2023/03/17

  射频溅射 直流溅射

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