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刻蚀设备的发展和光刻技术,互连技术密切相关。High K / Low K材料,铜互连,Metal Gate,double Pattern等技术的发展都对刻蚀设备提出了新的需求·
刻蚀设备的发展和光刻技术,互连技术密切相关。High K / Low K材料,铜互连,Metal Gate,double Pattern等技术的发展都对刻蚀设备提出了新的需求·收起