刻蚀机

• 几种常见的刻蚀机台，包括LAM、AMAT、TEL、MATTSON和AMEC等
  

  在晶圆制造过程中，刻蚀工艺是至关重要的，它不仅影响芯片的功能，还决定了工艺的精度和生产效率。LAM Research（简称LAM）是刻蚀机领域的领先厂商之一，尤其在干法刻蚀方面具有很强的竞争力。LAM的刻蚀机台通常采用等离子体刻蚀技术，其特点是高效的刻蚀速率和良好的工艺控制能力。

  老虎说芯

  1021

  12/14 10:25

  刻蚀设备 刻蚀机
• 5nm已量产，3nm还会远吗？重要性比肩光刻机的刻蚀设备——中微公司
  

  晶圆制造设备从类别上讲可以分为刻蚀、光刻、薄膜沉积、检测、涂胶显影等十多类，其合计投资总额通常占整个晶圆厂投资总额的 75%左右，其中刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。 根据Gartner统计的数据，2013年至2023年，半导体前道设备中，干法刻蚀设备市场年均增速超过15%，化学薄膜设备市场年均增速超过14%，这两类设备增速远高于其他种类的设备。 图|20

  王兵

  8922

  11/12 10:37

  与非研究院 CVD
• 跻身全球半导体设备TOP4，张江这家公司的底层密码是什么？
  

  在行业经历周期低谷的当下，张江科学城这家半导体设备公司的成绩单依然很闪耀：据中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）年报显示，2023年前三季度公司实现营业收入40.41亿元，同比增长32.8%；实现归母净利润11.6亿元，同比增长46.27%。

  张通社

  3360

  2023/12/13

  半导体设备 刻蚀机
• 中国半导体设备进出口数据及贸易伙伴排名｜2022上半年
  

  半导体国产替代的背景下，半导体设备作为芯片制造的基础，在整个产业链中扮演着举足轻重的地位。与非网对2022年1-6月中国大陆海关半导体制造设备进出口数据进行了整理分析，为大家了解中国目前半导体制造设备市场做一个参考。

  史德志

  3173

  2022/07/29

  半导体设备 与非研究院
• 清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标
  3月29日，清华大学发布等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。

  与非网编辑

  210

  2022/03/30

  刻蚀机 等离子体刻蚀机
• 全球半导体设备新星，中微公司撑住国产芯力量
  由于中国一家公司已经做出了和美国设备公司有相同质量和数量的等离子体刻蚀机，所以取消对中国的刻蚀机出口管制。

  半导体小罗罗

  266

  2020/07/27

  半导体设备 刻蚀设备
• 方寸之困：纳米级芯片通关路
  内有隐忧，外有威胁，仍然是困扰我国芯片产业的现实写照。

  脑极体

  223

  2020/05/10

  半导体 芯片
• 芯友会 | 半导体设备国产化的限制因素是什么？【第9期】
  现如今，国与国之间的贸易发生了变化，带来了挑战，也为半导体原材料的国产替代带来了机遇。

  芯片揭秘

  167

  2020/04/13

  led 半导体设备
• 2019科创板元年：如何保持战斗力
  有人说：创业板 10 年，创造了无数财富神话；新三板 5 年，从烈火烹油到无人问津，注定只是场外的小众市场。而今作为股市新贵的科创板又将演绎怎样的命运？

  夏珍

  523

  1评论

  2020/01/08

  芯片 晶圆
• 不吹上天，不扁入地，还原真实的“中国刻蚀机之父——尹志尧”
  “刚刚，这位中国老人，突然回国，美国人彻底慌了！” “是他，让中国半导体技术弯道超车，赶超美日！是他，让‘中国芯’实现中国制造，突破外企独霸！” “中国再一次在核心领域突破技术‘无人区’，弯道超车，率先掌握5 纳米半导体技术！” 尹志尧本人在回复科大微电子学院院长刘明院士时表示他已不堪其扰：希望媒体能够做到事实报道，不要夸大其词。

  夏珍

  533

  1评论

  2019/11/16

  与非观察 半导体设备
• 国产半导体设备翘楚——中微半导体的逆袭路
  2018年，半导体行业迎来一波IPO热潮，到如今这股热潮似乎仍未褪去，2019年1月8日，中微半导体与海通证券、长江证券签署辅导协议进行上市辅导备案。国产半导体设备的翘楚——中微半导体亦在为IPO作准备。

  李晨光

  98

  2019/03/05

  台积电 趣科技
• 中微半导体已掌握5nm刻蚀机技术，这个弯道超车漂亮
  不鸣则已一鸣必惊人！扬眉吐气、创造历史！中国再一次在核心领域突破技术“无人区”，弯道超车，率先掌握5 nm半导体技术！

  与非网记者

  14

  3评论

  2017/04/06

  芯片 5nm
• 本土IC生存实录 | 专访中微半导体，不对称竞争格局下，我国高科技企业如何实现跨越？
  为完成这篇关于中微半导体的报道，笔者两次造访中微位于上海金桥出口加工区的总部，先后和7位中微的核心团队成员进行了深入的交流。可以说在一个公司中，核心管理团队的气场就决定着这家公司的气质和风格，而通过这两次交流，让我对中微半导体这家设备公司的印象从一个模糊的轮廓逐渐清晰，我把我的收获分四篇文章--产业篇、未来篇、企业篇和团队篇逐一和大家分享

  高扬

  3

  2015/03/03

  刻蚀机

正在努力加载...