刻蚀机_刻蚀机是什么意思

几种常见的刻蚀机台，包括LAM、AMAT、TEL、MATTSON和AMEC等

在晶圆制造过程中，刻蚀工艺是至关重要的，它不仅影响芯片的功能，还决定了工艺的精度和生产效率。LAM Research（简称LAM）是刻蚀机领域的领先厂商之一，尤其在干法刻蚀方面具有很强的竞争力。LAM的刻蚀机台通常采用等离子体刻蚀技术，其特点是高效的刻蚀速率和良好的工艺控制能力。

老虎说芯

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2024/12/14

刻蚀设备刻蚀机

5nm已量产，3nm还会远吗？重要性比肩光刻机的刻蚀设备——中微公司

晶圆制造设备从类别上讲可以分为刻蚀、光刻、薄膜沉积、检测、涂胶显影等十多类，其合计投资总额通常占整个晶圆厂投资总额的 75%左右，其中刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。根据Gartner统计的数据，2013年至2023年，半导体前道设备中，干法刻蚀设备市场年均增速超过15%，化学薄膜设备市场年均增速超过14%，这两类设备增速远高于其他种类的设备。图|20