刻蚀机_刻蚀机是什么意思 - 与非网

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几种常见的刻蚀机台，包括LAM、AMAT、TEL、MATTSON和AMEC等

在晶圆制造过程中，刻蚀工艺是至关重要的，它不仅影响芯片的功能，还决定了工艺的精度和生产效率。LAM Research（简称LAM）是刻蚀机领域的领先厂商之一，尤其在干法刻蚀方面具有很强的竞争力。LAM的刻蚀机台通常采用等离子体刻蚀技术，其特点是高效的刻蚀速率和良好的工艺控制能力。

老虎说芯

1001

12/14 10:25

刻蚀设备刻蚀机
5nm已量产，3nm还会远吗？重要性比肩光刻机的刻蚀设备——中微公司

晶圆制造设备从类别上讲可以分为刻蚀、光刻、薄膜沉积、检测、涂胶显影等十多类，其合计投资总额通常占整个晶圆厂投资总额的 75%左右，其中刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。根据Gartner统计的数据，2013年至2023年，半导体前道设备中，干法刻蚀设备市场年均增速超过15%，化学薄膜设备市场年均增速超过14%，这两类设备增速远高于其他种类的设备。图|20

王兵

8871

11/12 10:37

与非研究院 CVD
跻身全球半导体设备TOP4，张江这家公司的底层密码是什么？

在行业经历周期低谷的当下，张江科学城这家半导体设备公司的成绩单依然很闪耀：据中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）年报显示，2023年前三季度公司实现营业收入40.41亿元，同比增长32.8%；实现归母净利润11.6亿元，同比增长46.27%。

张通社

3362

2023/12/13

半导体设备刻蚀机
中国半导体设备进出口数据及贸易伙伴排名｜2022上半年

半导体国产替代的背景下，半导体设备作为芯片制造的基础，在整个产业链中扮演着举足轻重的地位。与非网对2022年1-6月中国大陆海关半导体制造设备进出口数据进行了整理分析，为大家了解中国目前半导体制造设备市场做一个参考。

史德志

3173

2022/07/29

半导体设备与非研究院
清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标

3月29日，清华大学发布等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。

与非网编辑

210

2022/03/30

刻蚀机等离子体刻蚀机

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