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光罩国产化：五年变了天地
自2020年以来，半导体产业链的国产化水平得到了飞速地提升，近日由工信部站台推广的ArF干式光刻机便是一例。同样在光刻材料的国产化中，光罩的国产化也十分引人瞩目。可以说在这五年里，中国大陆地区的本土光罩厂走过了从边缘到核心，从0.13微米到14纳米的蜕变和进化。

半导体产业纵横

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22小时前

光罩
LGD｜联手延世大学开发出柔性透明光罩技术，可应用于LCD/OLED制程
LG显示（以下LGD）通过产学合作孵化课题支援，联手延世大学Shim Uyeong（新材料工学科）教授团队，开发出革新性新面板技术。

CINNO Research

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2020/02/17

oled LG显示
EUV吞吐量/掩膜/成本/光罩/产能/工艺步骤深度分析，台积电、格罗方德、英特尔都已准备好？
在每年一度的半导体行业战略研讨会（ISS）上，半导体行业的高管们都会讨论半导体技术趋势和全球市场的发展。这篇文章介绍了一位行业观察家在会议上分享的关于EUV光刻技术在不同工艺节点中的技术路径的内容和结论。

与非网记者

61

2018/01/23

与非观察 EUV

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