光掩膜版_光掩膜版是什么意思

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超精细金属掩膜版FMM实现全国产化
1月2日，我国掩膜版厂商众凌科技发布了两项成果：一是"全国产"大宽幅FMM用Invar（因瓦合金）金属薄带试量产成功，二是大尺寸OLED用G8.6 FMM产品的试量产成功。

中国电子报

1420

01/06 12:10

FMM 光掩膜版
EUV掩膜版清洗技术挑战及解决方案
EUV（极紫外光）掩膜版是现代半导体制造工艺中关键的元件之一，在集成电路的光刻过程中扮演着至关重要的角色。由于EUV技术的精密性和高要求，掩膜版的质量直接影响到最终成品的良率。而在这些技术中，清洗掩膜版是一个不可忽视的环节。尽管EUV掩膜版的清洗步骤相较于硅片的清洗流程较少，但其面临的挑战却异常复杂，主要体现在颗粒去除、材料损伤、污染控制等方面。

老虎说芯

2479

2024/12/26

EUV 光掩膜版
我国超精细金属掩膜版材料获得新突破
薄如蝉翼、贵过黄金的金属光罩，OLED面板用超精细金属掩膜版（FMM)决定着主流蒸镀OLED的质量和产量，是OLED产业最为重要的核心耗材。但也正因其进入门槛很高、市场依赖性强，成为套在面板厂商头上的隐形“魔咒”。

中国电子报

2410

2024/12/06

光掩膜版
光罩（Mask/掩膜版）的系统性讲解
光罩（Mask），也称为掩膜版，是集成电路（IC）制造过程中核心且关键的元件之一。作为光刻技术的核心工具，光罩将设计好的电路图案转移到晶圆表面，其质量直接决定了芯片制造的精度和性能。

老虎说芯

9314

2024/11/29

光掩膜版
光刻掩膜版用什么药液来洗？
学员问：光罩脏了，该如何清洗，洗的频率如何？用了什么原理？掩膜版（光罩）为什么会脏？以投影式光刻机与接触式光刻机为例，关于投影式与接触式光刻机见之前的文章：《什么是接触式/接近式/投影式/步进式光刻机？》

TOM聊芯片智造

1390

2024/10/23

光掩膜版

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