光掩膜板_光掩膜板资讯

EUV（极紫外光）掩膜版是现代半导体制造工艺中关键的元件之一，在集成电路的光刻过程中扮演着至关重要的角色。由于EUV技术的精密性和高要求，掩膜版的质量直接影响到最终成品的良率。而在这些技术中，清洗掩膜版是一个不可忽视的环节。尽管EUV掩膜版的清洗步骤相较于硅片的清洗流程较少，但其面临的挑战却异常复杂，主要体现在颗粒去除、材料损伤、污染控制等方面。

老虎说芯

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12/26 08:38

EUV 光掩膜板

我国超精细金属掩膜版材料获得新突破

薄如蝉翼、贵过黄金的金属光罩，OLED面板用超精细金属掩膜版（FMM)决定着主流蒸镀OLED的质量和产量，是OLED产业最为重要的核心耗材。但也正因其进入门槛很高、市场依赖性强，成为套在面板厂商头上的隐形“魔咒”。

中国电子报

955

12/06 10:30

光掩膜板

光罩（Mask/掩膜版）的系统性讲解

光罩（Mask），也称为掩膜版，是集成电路（IC）制造过程中核心且关键的元件之一。作为光刻技术的核心工具，光罩将设计好的电路图案转移到晶圆表面，其质量直接决定了芯片制造的精度和性能。

老虎说芯

2988

11/29 11:20

光掩膜板

光刻掩膜版用什么药液来洗？

学员问：光罩脏了，该如何清洗，洗的频率如何？用了什么原理？掩膜版（光罩）为什么会脏？以投影式光刻机与接触式光刻机为例，关于投影式与接触式光刻机见之前的文章：《什么是接触式/接近式/投影式/步进式光刻机？》

TOM聊芯片智造

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10/23 08:55

光掩膜板

产业丨光掩膜大涨？

光掩膜在半导体制造领域的广泛应用，彰显了其在技术创新与产业升级进程中的核心角色。伴随着半导体技术的日新月异，对光掩模的技术标准亦随之不断提升，这一趋势持续驱动着光掩模技术的深入发展与持续创新。

AI芯天下

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08/02 11:00

半导体制造光掩膜板

EUV掩膜版用什么材质做的？

学员问：听说EUV的掩膜版是反射式的，但是我们常见的掩膜版都是透射式的，为什么会这样？EUV掩膜版结构麻烦介绍下。

TOM聊芯片智造

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07/30 11:00

光掩膜板

FMM为高世代OLED竞争蓄势

在OLED大尺寸化浪潮下，上游关键核心材料——FMM（精细金属掩模版）也开始为适配8代OLED面板作准备。日本材料厂商DNP（大日本印刷）、韩国材料厂商Poongwon Precision（丰元精密）先后宣布布局8代FMM。我国金属掩膜版材料企业也在默默蓄力。8代FMM真的要来了？

中国电子报

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01/09 09:50

oled OLED面板

市场规模接近全球六成，我国平板显示掩膜版产业仍存短板

掩膜版又称光罩、光掩膜，是光刻工艺中的关键耗材，从应用角度看，主要分为半导体掩膜版和平板显示掩膜版。随着全球显示产业进一步向中国转移，以及在高世代、高精度市场需求的带动下，2025年中国平板显示掩膜版市场规模全球占比有望超过60%。不过业内人士强调，尽管我国掩模版行业发展速度很快，但还是存在产业链断层的情况，关键原材料和设备仍被掣肘。

中国电子报

3201

01/04 10:30

光掩膜板光掩膜

光刻掩膜版测温仪光刻机曝光光学系统测温仪